Gebraucht ASML XT 1400E #9381463 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9381463
ArF Scanner, 12"
Wafer type: Flat
Laser type: CYMER Laser
CYMER XLA 160+/165 (45W)
OIU/Reticle-/Waf.aux.port: Left configuration
CSR 8004 Various
WH Carrier interface: (25) Wafer open cassette kit
Wafer track interface: TEL Cleantrack Lithius / 200
Mark sensor
Integrated reticle library
Reticles twinscan IRIS, 6"
ATASF ASF: IRIS-XT with PPD2 1
Second laser paddle
(24) Char reticle barcode readers
Recipe creator: Light
PEP Option: Upgraded tpt, 6", 180 Wph
Proximity matching
Exposure
ASF LS Spot coverage
Reticle streaming
Gridmapper
Spotless (Not XT:1700Fi, XT:19x0xi)
Chuck dedication
Top package: Standard (Top 2)
Enhance TPT reticle alignment
2DE Grid calibration
Gas Life Extension (GLX)
Dosemapper: Standard
LPA Local sourcing
Power: 400 V
2005 vintage.
ASML XT 1400E ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der speziell für die schnelle, serienmäßige Waferproduktion entwickelt wurde. Das Gerät verfügt über eine Produktionsmaske von 0,7, mit einer Fokusgenauigkeit von +/- 0,8 Mikrometer für eine möglichst präzise Waferfertigung. Das System wurde entwickelt, um den Produktionsdurchsatz mit einem optionalen Dual-Field-Scanner zu maximieren, sodass Benutzer die Anzahl der separaten Felder erhöhen können, die gleichzeitig freigelegt werden können. Die Einheit basiert auf zwei großen optischen Elementen; eine Strahlabgabemaschine für den von der Quelle emittierten Strahl und einen Excimerlaser zur Belichtung. Das Strahllieferwerkzeug verwendet eine f-Theta Teleskopanlage, die höchste Genauigkeit bei minimalen Aberrationen gewährleistet. Dies minimiert die Verzerrung des Wafers und sorgt für hohe Durchsatzraten bei minimaler Retikelbewegung. Das Belichtungs-Subsystem enthält einen 1200W Excimerlaser, der branchenführende Leistungsstufen für schnellere Wafer-Bildgebung bietet. Das Modell wird über einen Computer mit einer benutzerfreundlichen Bedienoberfläche betrieben. Während der Laser programmierbar ist, kann er auch manuell eingestellt werden, falls Hersteller eine kundenspezifische Belichtung benötigen. XT 1400E ist auf maximalen Produktionsertrag ausgelegt. Die Ausrüstung kann die Laserleistung in Echtzeit überwachen und anpassen und die Belichtungszeiten für die effizienteste Waferproduktion automatisch anpassen. Es verfügt zudem über ein integriertes Lastschloss für die Wafer-Handhabung, wodurch das Verunreinigungspotenzial minimiert wird. Das System umfasst auch eine automatische Säulenhandhabung, um höchste Genauigkeit während der Produktion zu gewährleisten. Zusätzlich zu den Standardproduktionsfunktionen umfasst ASML XT 1400E zusätzliche Funktionen zur Reduzierung von Ausfallzeiten. Die Maschine verfügt über ein Automatisierungs-Reporting-Tool, mit dem der Bediener die Leistung überwachen und mögliche Probleme schnell erkennen kann. Darüber hinaus ermöglicht ein integriertes Diagnosegerät dem Techniker die schnelle Bereitstellung von Wartungs- und Kontrollvorgängen. XT 1400E ist ein extrem präziser und leistungsstarker Wafer-Stepper, der branchenführende Leistung bei minimalen Ausfallzeiten und maximaler Leistung bietet. Mit einem Produktionsmaskenniveau von 0,7 und einer Fokusgenauigkeit von 0,8 Mikrometern eignet es sich hervorragend für serienreiche Produktionslinien.
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