Gebraucht ASML XT 1400F #9351329 zu verkaufen
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ID: 9351329
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Immersion lithography system, 12"
2007 vintage.
ASML XT 1400F ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der in der Halbleiterverarbeitung verwendet wird. Es handelt sich um einen Maskenprojektor, der Licht auf Substratscheiben projiziert, um mikroskopische Muster zu erzeugen, um integrierte Schaltkreise (IC) zu fertigen. Dadurch können in einem einzigen Lithographieschritt mehrere Kernkomponenten eines Chips wie Transistoren und Logikgates erzeugt werden. XT 1400F ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, um eine außergewöhnliche Genauigkeit und Genauigkeit im Projektionsprozess zu gewährleisten. Es verwendet tiefe ultraviolette (DUV) - 405nm Lichtwellenlänge, um Submikron-Muster auf den Substraten zu erzeugen. Die maximale Auflösung dieses Lithographiesystems beträgt ca. 1,4 Mikrometer. Seine Projektionsoptiken sind entworfen, um Aberrationen zu reduzieren und hochpräzise Muster zu produzieren, während seine räumliche Lichtmodulationseinheit (SLM) das Licht, das zum Mustern der Substrate verwendet wird, präzise formen und steuern kann. Zusätzlich ist ASML XT 1400F mit einer Reihe fortschrittlicher Bewegungssteuerungsfunktionen ausgestattet. Dazu gehört eine zweistufige Mikroskopstufe, die eine schnelle und präzise Positionierung ermöglicht. Es ist auch mit mehreren Motoren ausgestattet, die eine präzise und wiederholbare Bewegung bieten können. Ein Vakuumgreifersystem ist auch verfügbar, um das Substrat während des gesamten Prozesses sicher zu halten. Darüber hinaus verfügt XT 1400F über einen hochzuverlässigen, fortschrittlichen Steuerungsalgorithmus, der sicherstellen kann, dass der Lithographieprozess jedes Mal konsistent ist. Es ist auch in der Lage, mehrere Belichtungen durchzuführen, wobei jede Belichtung einstellbare Parameter für optimale Ergebnisse aufweist. Darüber hinaus ist es mit einem intelligenten Fehlererkennungssystem integriert, das die Anzahl der aufgrund von Defekten hergestellten nichtfunktionellen Chips minimiert. ASML XT 1400F Wafer Stepper ist ein wesentliches Werkzeug für die Herstellung von hochwertigen integrierten Schaltungschips, in der Lage, hochpräzise Sub-Mikron-Muster mit einer maximalen Auflösung von 1,4 Mikrometern auf einer breiten Palette von Substraten zu produzieren. Mit seinen außergewöhnlichen Eigenschaften und fortschrittlichen Steuerungsalgorithmen sorgt XT 1400F für eine hohe Ausbeute an konsistent funktionalen Chips und ist damit heute ein wichtiges Werkzeug für die Halbleiterherstellung.
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