Gebraucht ASML XT 1700 #293817719 zu verkaufen
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ASML XT 1700 Wafer Stepper ist eine fortschrittliche Lithographie-Ausrüstung für High-End-Wafer-Level-Geräteherstellung entwickelt, die eine Kombination aus aktuellen optischen Bildgebungstechnologien, mehrachsigen Neigungsstufen und fortschrittlichen Steuerungssystemen für maximale Toleranz und Präzision in der Geräteproduktion verwendet. Das System bietet eine leistungsstarke Bildverarbeitungsplattform für die fortschrittliche Photomasken- und Retikelherstellung mit einem 800-nm-Belichtungssystem, das eine maximale effektive Belichtungsfläche von bis zu 550 x 600 mm ermöglicht. Photomasken und Retikel werden mikrometergenau auf eine Bühne gestellt und dann durch die Einheit bewegt, um ein komplettes Muster auf einem Waferspinner zu bilden. Für präzise und präzise Bildgebung setzt ASML XT:1700 ein Trio hochauflösender CCD-Kameras zur Mustererfassung und dynamischen Fokussierung ein. Die Kameras bewegen sich auf kundenspezifischen doppelachsigen Neigungen um die Bildstation, um die Bildgeometrie zu optimieren. Dies dient der Vermeidung von Aberrationen und der Gewährleistung von Null-Hintergrundstörungen, wodurch eine Partikelgenauigkeit auch für kleinste Geometrien gewährleistet ist. Die hochgenaue Waferübersetzung wird durch den Einsatz der ASML Hybrid Tilt Stage Technologie ermöglicht. Neben einer Stufengeschwindigkeit von bis zu 15.000 um/s ermöglichen fortschrittliche Positionsstabilitäts-Servosteuerungen in Echtzeit eine genaue Profilverfolgung auch für die am stärksten überlasteten Lithographielösungen. Die Steuerungsmaschine im Zentrum des Werkzeugs bietet eine integrierte Steuerung aller integrierten Komponenten zur programmierbaren Belichtung und Prozesssteuerung. Die Benutzeroberfläche des Asset nutzt eine intuitive tabellarische Auflistung aller relevanten Parameter, die schnelle und einfache Parameteränderungen ermöglicht. Die Unterstützung verschiedener Field Programmable Gate Arrays (FPGAs) gewährleistet eine niedrige Latenzkommunikation zwischen allen Prozessen für eine optimale Hochleistungsproduktion. Insgesamt ist der XT 1700 Wafer Stepper ein fortschrittliches Lithographiemodell für die anspruchsvollsten Geräteproduktionsaufgaben. Die Kombination aus branchenführender Bildverarbeitungstechnologie und Präzisionssteuerung ermöglicht eine zuverlässige und wiederholbare Produktion von Mikromerkmalen mit höchsten Erträgen.
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