Gebraucht ASML XT 1700FI #293606031 zu verkaufen

ASML XT 1700FI
Hersteller
ASML
Modell
XT 1700FI
ID: 293606031
Immersion scanner.
ASML XT 1700FI ist ein Wafer-Stepper, der in photolithographischen Anwendungen verwendet wird. Es ist eine sehr präzise, hochgenaue Maschine mit einer variablen Form bildgebende Ausrüstung und eine Stempelposition fiducial Erkennungssystem. Diese Einheit minimiert die Dispersion des Belichtungsfeldes beim Scannen. ASML XT1700FI wurde entwickelt, um eine konstante, wiederholbare Tiefenschärfe zu erzeugen, die Prozessstabilität ermöglicht, die Partikelerzeugung minimiert und kleine kritische Merkmale auflöst. XT:1700FI ist mit einer hochleistungsfähigen, präzisen optischen Maschine gebaut, die Lithographie mit hoher Dichte und feiner Linienbreite ermöglicht. Dieses Werkzeug besteht aus zwei Komponenten: einem optischen Zweiring und einem strahlformenden Modell. Die Zwei-Ring-optische Ausrüstung ist ein optisch symmetrisches System, das konstante Spurkrümmungen verwendet, um Wellenfrontverzerrungen zu reduzieren. Die Strahlformungseinheit ist dafür zuständig, die Form des Belichtungsfeldes zu steuern, indem unerwünschte und unerwünschte Off-Axis-Punkte durch parametrische asphärische und axiale Abstandstechniken reduziert werden. XT1700FI verfügt zudem über eine automatisierte Zeemann Alignment Maschine, mit der Retikelverzerrungen und Fehlstellungen reduziert werden können. Dieses Tool wurde entwickelt, um die Bildverformung in Nanometerauflösung während der Musterübertragung zu korrigieren. ASML XT:1700FI ist mit einer Feldabflachung ausgestattet, bestehend aus einem einstellbaren Axicon, einem einstellbaren Retarder und einem einstellbaren optischen Intra-Fokus-Modell, das hilft, Feldkrümmung und Verzerrungen zu beseitigen, um hochauflösende, hochgenaue Expositionen zu erzeugen. XT 1700FI ist mit einer robusten Steuerung ausgestattet, um die Leistung und Genauigkeit des Systems zu gewährleisten. Diese Steuereinheit ist mit benutzerfreundlichen und intuitiven grafischen Benutzeroberflächen und erweiterten Datenanalyse-Algorithmen konzipiert, um Echtzeitergebnisse zu liefern. Die Leistung von XT 1700 FI kann durch optionale Funktionen wie eine Schwingungsisolationsmaschine, eine rückseitige Verschlussmaske und einen Wafer-Ausrichter weiter erhöht werden, die alle darauf ausgelegt sind, Vibrationen während der Belichtungszyklen zu minimieren und die Wafer-Detailregistrierungsgenauigkeit zu verbessern. Schließlich ist ASML XT 1700 FI äußerst zuverlässig und für konstant hohe Leistung ausgelegt. Die Maschine ist mit umfangreichen Sicherheitssystemen und Leistungsdiagnosen ausgestattet, die die Leistung der Werkzeuge überwachen und steuern und Ausfallzeiten reduzieren.
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