Gebraucht ASML XT 1700FI #293633102 zu verkaufen

ASML XT 1700FI ist ein High-End-Wafer auf UV-Basis, der in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist eine reduktiv beleuchtete Reduktionsstufe, die doppelte Belichtung verwendet, um effektive Luftbilder zu erzeugen. Der Stepper verwendet eine 0.248/0.335/0.5nm Multiexpositionsstufe mit einer Belichtungszeit von bis zu 4.2s. Es kann Line-Edge-Rauheit unter 4nm und Stufenbewegungen mit Nanometer-Genauigkeit und aufgelöster Schrittgröße im Sub-Micron-Bereich bereitstellen. ASML XT1700FI verwendet die neueste Technologie in seiner bildgebenden Ausrüstung, mit einem hochentwickelten Dual-Source-Beleuchter, der eine optimierte Lichtintensitätsregelung bietet. Die beleuchteten Doppelquellen berücksichtigen Einschluss einer breiten Reihe von Designs im breiten Prozessfenster vom Singlepassdoppeltaussetzungskontaktsteindruckverfahren, um Mehraussetzung orthogonale Paare zu verdoppeln. Es bietet ein flexibles System zur Prozessoptimierung und robusten Konstruktionsausführung. Der Wafer-Stepper hat eine hohe optische Auflösung von 4µm, einen 5-Tap-Encoder und eine RMS-Genauigkeit von 28nm. Es unterstützt Shot-Zählung und Einheit Log-Speicher bis zu 5 GB. Es verfügt über eine hochmoderne Ausrichtungsgenauigkeit und einen einstellbaren Werkzeugmittelpunkt für erweiterte Überlagerungsfähigkeit. Seine erweiterten programmierbaren Funktionen ermöglichen auch schnellen Positionsschutz, Verhinderung von Hot-Spot-Schäden und verringerte Defektivität. Die fortschrittliche Kameramaschine von XT:1700FI bietet eine Auflösung von bis zu 512x512 Pixeln mit einem dynamischen Fokus von 0,3 µm-3 µm. Seine ausgeklügelten Bildverarbeitungsfunktionen ermöglichen Echtzeit-Fokussierung, Dosisoptimierung und bildgebende Inkonsistenzen. Die vom Stepper unterstützte Vierfach-Belichtungsfähigkeit erhöht die Schärfe der Photomasken mit der höchsten Auflösung. ASML XT 1700 FI ermöglicht zudem Prozessüberwachung, Waferinspektion und Datenprotokollierung mit integrierter Kommunikationsschnittstelle und erweiterter Ferndiagnosefähigkeit. So können Bediener Produktionsprozesse aus der Ferne diagnostizieren, beobachten und steuern. Der Stepper ist außerdem mit einem Fernbedienungstool „Ready-for-Link“ ausgestattet, um einen höheren Durchsatz und eine höhere Prozesssteuerung zu gewährleisten. ASML XT:1700FI wurde modular aufgebaut und macht den Stepper sehr zuverlässig, wartungsfrei und kostengünstig, mit der Fähigkeit, aufgewertet und erweitert zu werden. Darüber hinaus ist es ein geräuscharmes, vibrationsarmes Gerät und mit einer breiten Palette von automatisierten und roboterarmen Handhabungsgeräten kompatibel. Es ist eine leistungsstarke Maschine, die in der Lage ist, hohe Leistung in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen zu liefern.