Gebraucht ASML XT 1700FI #9228927 zu verkaufen

ASML XT 1700FI ist ein hochleistungsfähiges, hochpräzises lithographisches Werkzeug, das für die Herstellung von IC-Chips (Advanced Integrated Circuit) entwickelt wurde. Es handelt sich um eine schablonenbasierte Stufen- und Wiederholbelichtungseinrichtung mit einer Belichtungsquelle, einer optischen Säule und einem Wafer-Handhabungssystem. Im 1700FI Modell verfügt der Belichtungskopf über eine ultraschnelle Xenon-Lampe, die Belichtungszeiten bis zu zwei Größenordnungen schneller als herkömmliche Quellen bietet. Die Belichtung wird durch das Vorhandensein von in-column optischen Elementen (wie einer Kondensatorlinse und einer Relaislinse), die als gepulste Diffusionsprojektionseinheit aufgebaut sind, weiter verbessert. Die Projektionsoptik erzeugt ein sehr gleichmäßiges Beleuchtungsmuster auf den Wafer, was zu einer wiederholbaren und sehr genauen Linie/Raum-Belichtung führt. Die Wafer-Handhabungsmaschine des 1700FI ist darauf ausgelegt, den Wafer während des gesamten Belichtungsprozesses in einem Vakuumfutter zu halten. Dadurch wird ein fester Griff am Wafer gewährleistet, der die Leistung des Werkzeugs gewährleistet und eine Beschädigung des Wafers durch Vibrationen verhindert. Das Wafer-Handling-Element kann auch eine Unterstützung zum Bewegen oder Indexieren der Wafer-Bühne für alle Laserausrichtungsanforderungen bieten. ASML XT1700FI bietet sowohl In-Situ- als auch Offline-Belichtungsfunktionen, die Automatisierung, Flexibilität und Programmierbarkeit ermöglichen. Die Offline-Programmierung und -Belichtung erfolgt über die intuitive Interlock Interface Software, die eine leistungsstarke Overlay-Kalibrierung, Dosisrampen und Flussoptimierung bietet. Schließlich ist das 1700FI mit einer zuverlässigen und allerersten Leistung ausgelegt, mit Fehlerreparaturen im Feld und Alignment-Verifikationsverfahren. Dies macht es zu einem großartigen Gerät für die kostensensitive, volumenstarke IC-Fertigung.