Gebraucht ASML XT 1700FI #9269682 zu verkaufen

ASML XT 1700FI ist ein Full Field Immersion (FFI) Wafer Stepper der 5. Generation, der in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) verwendet wird. Diese Maschine ist mit einem hochentwickelten Auto-Kollimator ausgestattet, um eine überlegene Lithographie-Leistung und Genauigkeit von ≤ 0,2 μ m bei einer Feldgröße von ½ Zoll zu bieten. ASML XT1700FI verfügt über eine' Kryptonfluorid '-Eintauchoptik, die eine extrem hohe numerische Apertur (NA) von bis zu 1,38 bietet und die Möglichkeit bietet, Merkmalsgrößen von 8 nm bis 20 nm zu mustern. Das FFI-System verwendet für das neue 4D-Bildgebungsverfahren ein afokales Medium, das den Durchsatz beschleunigt und so die Produktivität verbessert; und verfügt über eine umfassende Wafer-Verfolgungs- und Analyseeinheit zur Analyse der Wafer-Nachbearbeitung. Die integrierte Scantechnologie der Maschine ist in der Lage, Variationen zu reduzieren und sich auf bildgebende Ziele zu konzentrieren, um die Genauigkeit, Gleichmäßigkeit und Fehlerinspektionsfähigkeit zu erhöhen. XT:1700FI verfügt über eine Schärfentiefe (FDOF) von über 70 μ m, die eine präzisere Auflösung und Klarheit des Bildes im gesamten Bild ermöglicht. Die Maschine verwendet auch eine schnelle, geräuscharme „Ozone Clean“ -Maschine, um die Verschmutzung von Photomasken zu reduzieren und die Verschmutzung von Masken um 75% zu reduzieren. Sie ist mit einem neuen thermischen Modellierungswerkzeug ausgestattet, um die Klimatisierung zu optimieren, um temperaturbedingte Prozessungleichförmigkeiten zu vermeiden. ASML XT:1700FI Wafer Stepper verfügt auch über ASML erweiterte Metrologie-Funktionen, die eine genaue Messung der Expositionsleistung, Fehlerkontrolle, Dosissteuerung und Fokussteuerung ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine fortschrittliche automatisierte Maskenladesysteme, die die Zeit zum Laden der 2700mm Photomaske zu reduzieren, und eine Vielzahl von Optionen für Rezepte, Filter, Überwachung und Fotoresist Materialien Auswahl. XT 1700 FI ist ein ideales Werkzeug für fortschrittliche Lithographieverfahren und Präzisionsbildgebung. Es bietet einen überlegenen Durchsatz, Stabilität, Genauigkeit und Wiederholbarkeit, so dass IC-Hersteller engere Toleranzen und verbesserte Erträge bei schnelleren Durchlaufzeiten erzielen können.