Gebraucht ASML XT 1700FI #9379826 zu verkaufen
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ID: 9379826
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
ArF Scanner, 12"
Main body
Wafer stage
LMA Module
AOM Laser
EGPS
(5) Cover panels
Excimer laser
Charcoal filter
Spare parts
Cabinet:
ACC
MDC
ELEC
WICC
WISC
RSRC
MCWC
WSRC
2006 vintage.
ASML XT 1700FI ist ein Wafer-Stepper zur Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Es wird von Applied Materials hergestellt und ist das führende Werkzeug in der Industrie für die Serienproduktion von fortschrittlichen Geräten. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um die höchste verfügbare Lithographie und Overlay-Genauigkeit zu bieten. ASML XT1700FI kann Wafergrößen von 2 - 8 Zoll verarbeiten und hat eine Nennauflösung von 438nm. Das System liefert qualitativ hochwertige Bildgebung sowie eine ausgezeichnete Tiefenschärfe. Das Gerät verfügt über einen Vollfeld-Lithographie-Scan und kann den gesamten Wafer einfach und präzise belichten. Der Wafer-Stepper verfügt über eine einzigartige Scanner-Laser-Maschine, die höhere Belichtungsgeschwindigkeiten ermöglicht. Es verfügt auch über ein Paar von 4,5-Zoll-Laser-Scan-Tool-Linsen, die mehrere Belichtungsmodi ermöglichen. Das elektronenstrahlmaskenlose Lithographie-Belichtungs-Subsystem des Asset hilft, die Anforderungen an Maskierung und Inspektion zu reduzieren. Die elektronenstrahlmaskenlose Lithographie kann auch das Risiko von Lithographieschäden verringern. XT:1700FI ist voll kompatibel mit der fortschrittlichsten Software der Branche, einschließlich ASML Digital Micro Imaging Software für Ausrichtung und Overlay. Es ist auch kompatibel mit der neuesten Version des Micron Tracker. Das Modell ist mit einer fortschrittlichen Industrie-PC-Plattform gebaut, die hohe Zuverlässigkeit und Stabilität bietet. XT 1700 FI verfügt über eine 5-Achsen-Orientierung, um eine genaue Verfolgung und Abtastung des gesamten Wafers zu gewährleisten. Das Gerät umfasst auch einen programmierbaren Beleuchter und eine breite Palette von Zubehör wie Stigmatoren, Diffusoren und Dunkelfeldoptik. XT1700FI verfügt zudem über ein leistungsstarkes Mikrofokussiersystem, das sicherstellt, dass der Wafer über die gesamte Oberfläche korrekt belichtet wird. Die Mikrolinse zur Steuerung der Belichtungsauflösung ist ebenfalls Teil der Einheit. Die fortschrittliche Steuerungssoftware der Maschine hilft, Bedienungsfehler zu reduzieren und gleichzeitig Produktivität und Durchsatz zu erhöhen. Insgesamt ist ASML XT:1700FI ein branchenführender Wafer-Stepper, der hervorragende bildgebende Ergebnisse bei zuverlässiger und stabiler Leistung erzielen kann. Dieses Tool ist ideal für die fortschrittliche Gerätebearbeitung und wurde entwickelt, um die höchsten Produktionsanforderungen zu erfüllen.
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