Gebraucht ASML XT 1950Hi #293752405 zu verkaufen
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ID: 293752405
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Lithography system, 12"
(2) Load laser ports
Hard Disk Drive (HDD)
Immersion lithography with size:193 nm
Resolution capability: 38 nm
Overlay: 4 nm SMO / 7 nm MMO
Throughput: 148 WPH (12" wafer with 125 exposures at 30 mJ)
CYMER XLR-560i 193 nm 60 W/6 kHz Laser with E95 Bandwidth monitoring
Semi compliant MENV and FIMS Assembly
Controls: UNIX / SUN Architecture
AERIAL XP P-type Illumination system
Alignment: Blue align with narrow mark
Focus and Field-by-field levelling
Focus spot monitoring
Circuit Dependent Focus Edge Clearance (CD-FEC)
Dual E-chucks (Bonded SiC)
LS-MATCH2 (XT) Image streaming
Overhead reduction: 1 and 2
Productivity Enhancement Package (PEP)
In-situ metrology: Sensor module
ILIAS Lithoguide (SAMOS and PUPICOM)
UNICOM XT
Dose mapper ArF
(15) QUASAR XL Slots
Reticle shape correction
2DE Grid calibration
Twinscan Overlay package
Water cooling for electronics cabinet
IRL-XP Integrated reticle library for H-SPEC Systems
IRIS-XT Integrated reticle inspection system
Reticle streaming
Spotless G & H
Twinscan Grid mapper
TEAL PCDU-XT1900 Distribution unit
FSM flex package
Aux port 300 mm FOUP / 25 Wafers
XCDA Gas purification system
Purifier canister: Optics series, 10 MH, SS
Reticle with defect: 40 nm
SMASH XY
Power conditioner: 135 kVA
XCDA Gas purification system bypass manifold:
Manifold three valve: 10 m
Filter housing: Cabinet
ESI EX2600
Filter set
Standard and compliance:
CE Marked
S2 Compliant
Manual
Laser power: 60 W
Throughput: 148 WPH
ZEISS Starlight: 1950
2010 vintage.
ASML XT 1950Hi ist ein modernster Wafer-Stepper, der für die Serienproduktion in fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieses anspruchsvolle Lithographiewerkzeug wird von ASML, einem führenden Anbieter von Photolithographieanlagen für die Halbleiterindustrie, hergestellt. ASML XT1950HI wurde speziell entwickelt, um die Anforderungen der modernsten IC-Fertigungsanlagen zu erfüllen und bietet beispiellose Präzision, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit für die Herstellung kleinerer und leistungsstärkerer Halbleiterbauelemente. Kern von XT 1950Hi ist seine fortschrittliche optische Projektionsausrüstung, die tiefe ultraviolette (DUV) Lichtquellen verwendet, um eine extrem hohe Auflösung und Mustertreue auf Siliziumwafern zu erreichen. Der Stepper verfügt über ein hochmodernes Linsensystem, das komplexe Schaltungsmuster subnanometergenau auf die Waferoberfläche projizieren kann und die Herstellung modernster ICs mit dicht gepackten Transistoren und Leiterbahnen ermöglicht. Die Linseneinheit ist sorgfältig entworfen und kalibriert, um Aberrationen und Verzerrungen zu minimieren und die präzise Übertragung von Mustern von der Photomaske auf den Wafer zu gewährleisten. XT1950HI verfügt über mehrere innovative Technologien zur Steigerung der Produktivität und Ausbeute in der Halbleiterherstellung. Ein wesentliches Merkmal ist seine fortschrittliche Ausrichtungs- und Overlay-Steuerung, die es dem Stepper ermöglicht, aufeinanderfolgende Lithographieschichten mit Submikron-Präzision genau auszurichten. Dadurch wird sichergestellt, dass verschiedene Muster perfekt ausgerichtet und auf dem Wafer gestapelt werden, was entscheidend für die Erzielung enger Konstruktionstoleranzen und die Maximierung der Chipleistung ist. Der Stepper enthält auch adaptive Beleuchtungstechniken, um Bildkontrast und -qualität zu optimieren, die Sichtbarkeit von Mustermerkmalen zu verbessern und eine höhere Musterauflösung zu ermöglichen. In Bezug auf den Durchsatz ist ASML XT 1950Hi darauf ausgelegt, branchenführende Produktivitätsniveaus zu erreichen, mit der Fähigkeit, mehrere Wafer gleichzeitig in einem kontinuierlichen, Hochgeschwindigkeitsbetrieb zu belichten. Der Stepper verfügt über ein ausgeklügeltes Reticle-Handling-Tool, das einen schnellen Reticle-Austausch und -Ausrichtung ermöglicht, Ausfallzeiten minimiert und die Werkzeugauslastung maximiert. Darüber hinaus ist ASML XT1950HI mit fortschrittlicher Wafer-Bühnentechnologie ausgestattet, die eine schnelle und präzise Positionierung von Wafern ermöglicht und den Gesamtdurchsatz und die Produktivität in Halbleiterherstellungsumgebungen weiter verbessert. XT 1950Hi ist auch mit einem Fokus auf Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit konzipiert, mit robusten Hardwarekomponenten und anspruchsvollen Überwachungs- und Diagnosefunktionen. Der Stepper verfügt über fortschrittliche Temperaturregelungssysteme, um stabile Betriebsbedingungen aufrechtzuerhalten und thermische Drift zu minimieren, wodurch eine konsistente und zuverlässige Musterleistung über längere Produktionsläufe gewährleistet ist. Das Tool ist mit umfassenden Metrologie- und Prozesskontrollfunktionen ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung kritischer Lithographieparameter ermöglichen und eine proaktive Wartung und Optimierung der Werkzeugleistung ermöglichen. Insgesamt stellt XT1950HI einen modernen Wafer-Stepper dar, der neue Maßstäbe für Präzision, Produktivität und Zuverlässigkeit in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung setzt. Mit seiner fortschrittlichen optischen Ausstattung, innovativen Ausrichtungstechnologien, hohen Durchsatzkapazitäten und einem robusten Design ist ASML XT 1950Hi ideal für die Produktion von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen geeignet, die modernste Lithographiefunktionen erfordern. ASML setzt die Grenzen der Halbleiterlithographietechnologie mit ASML- XT1950HI fort und ermöglicht die nächste Generation von IC-Fortschritten in der globalen Halbleiterindustrie.
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