Gebraucht ASML XT 1950Hi #293752405 zu verkaufen

Hersteller
ASML
Modell
XT 1950Hi
ID: 293752405
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Lithography system, 12" (2) Load laser ports Hard Disk Drive (HDD) Immersion lithography with size:193 nm Resolution capability: 38 nm Overlay: 4 nm SMO / 7 nm MMO Throughput: 148 WPH (12" wafer with 125 exposures at 30 mJ) CYMER XLR-560i 193 nm 60 W/6 kHz Laser with E95 Bandwidth monitoring Semi compliant MENV and FIMS Assembly Controls: UNIX / SUN Architecture AERIAL XP P-type Illumination system Alignment: Blue align with narrow mark Focus and Field-by-field levelling Focus spot monitoring Circuit Dependent Focus Edge Clearance (CD-FEC) Dual E-chucks (Bonded SiC) LS-MATCH2 (XT) Image streaming Overhead reduction: 1 and 2 Productivity Enhancement Package (PEP) In-situ metrology: Sensor module ILIAS Lithoguide (SAMOS and PUPICOM) UNICOM XT Dose mapper ArF (15) QUASAR XL Slots Reticle shape correction 2DE Grid calibration Twinscan Overlay package Water cooling for electronics cabinet IRL-XP Integrated reticle library for H-SPEC Systems IRIS-XT Integrated reticle inspection system Reticle streaming Spotless G & H Twinscan Grid mapper TEAL PCDU-XT1900 Distribution unit FSM flex package Aux port 300 mm FOUP / 25 Wafers XCDA Gas purification system Purifier canister: Optics series, 10 MH, SS Reticle with defect: 40 nm SMASH XY Power conditioner: 135 kVA XCDA Gas purification system bypass manifold: Manifold three valve: 10 m Filter housing: Cabinet ESI EX2600 Filter set Standard and compliance: CE Marked S2 Compliant Manual Laser power: 60 W Throughput: 148 WPH ZEISS Starlight: 1950 2010 vintage.
ASML XT 1950Hi ist ein modernster Wafer-Stepper, der für die Serienproduktion in fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieses anspruchsvolle Lithographiewerkzeug wird von ASML, einem führenden Anbieter von Photolithographieanlagen für die Halbleiterindustrie, hergestellt. ASML XT1950HI wurde speziell entwickelt, um die Anforderungen der modernsten IC-Fertigungsanlagen zu erfüllen und bietet beispiellose Präzision, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit für die Herstellung kleinerer und leistungsstärkerer Halbleiterbauelemente. Kern von XT 1950Hi ist seine fortschrittliche optische Projektionsausrüstung, die tiefe ultraviolette (DUV) Lichtquellen verwendet, um eine extrem hohe Auflösung und Mustertreue auf Siliziumwafern zu erreichen. Der Stepper verfügt über ein hochmodernes Linsensystem, das komplexe Schaltungsmuster subnanometergenau auf die Waferoberfläche projizieren kann und die Herstellung modernster ICs mit dicht gepackten Transistoren und Leiterbahnen ermöglicht. Die Linseneinheit ist sorgfältig entworfen und kalibriert, um Aberrationen und Verzerrungen zu minimieren und die präzise Übertragung von Mustern von der Photomaske auf den Wafer zu gewährleisten. XT1950HI verfügt über mehrere innovative Technologien zur Steigerung der Produktivität und Ausbeute in der Halbleiterherstellung. Ein wesentliches Merkmal ist seine fortschrittliche Ausrichtungs- und Overlay-Steuerung, die es dem Stepper ermöglicht, aufeinanderfolgende Lithographieschichten mit Submikron-Präzision genau auszurichten. Dadurch wird sichergestellt, dass verschiedene Muster perfekt ausgerichtet und auf dem Wafer gestapelt werden, was entscheidend für die Erzielung enger Konstruktionstoleranzen und die Maximierung der Chipleistung ist. Der Stepper enthält auch adaptive Beleuchtungstechniken, um Bildkontrast und -qualität zu optimieren, die Sichtbarkeit von Mustermerkmalen zu verbessern und eine höhere Musterauflösung zu ermöglichen. In Bezug auf den Durchsatz ist ASML XT 1950Hi darauf ausgelegt, branchenführende Produktivitätsniveaus zu erreichen, mit der Fähigkeit, mehrere Wafer gleichzeitig in einem kontinuierlichen, Hochgeschwindigkeitsbetrieb zu belichten. Der Stepper verfügt über ein ausgeklügeltes Reticle-Handling-Tool, das einen schnellen Reticle-Austausch und -Ausrichtung ermöglicht, Ausfallzeiten minimiert und die Werkzeugauslastung maximiert. Darüber hinaus ist ASML XT1950HI mit fortschrittlicher Wafer-Bühnentechnologie ausgestattet, die eine schnelle und präzise Positionierung von Wafern ermöglicht und den Gesamtdurchsatz und die Produktivität in Halbleiterherstellungsumgebungen weiter verbessert. XT 1950Hi ist auch mit einem Fokus auf Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit konzipiert, mit robusten Hardwarekomponenten und anspruchsvollen Überwachungs- und Diagnosefunktionen. Der Stepper verfügt über fortschrittliche Temperaturregelungssysteme, um stabile Betriebsbedingungen aufrechtzuerhalten und thermische Drift zu minimieren, wodurch eine konsistente und zuverlässige Musterleistung über längere Produktionsläufe gewährleistet ist. Das Tool ist mit umfassenden Metrologie- und Prozesskontrollfunktionen ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung kritischer Lithographieparameter ermöglichen und eine proaktive Wartung und Optimierung der Werkzeugleistung ermöglichen. Insgesamt stellt XT1950HI einen modernen Wafer-Stepper dar, der neue Maßstäbe für Präzision, Produktivität und Zuverlässigkeit in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung setzt. Mit seiner fortschrittlichen optischen Ausstattung, innovativen Ausrichtungstechnologien, hohen Durchsatzkapazitäten und einem robusten Design ist ASML XT 1950Hi ideal für die Produktion von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen geeignet, die modernste Lithographiefunktionen erfordern. ASML setzt die Grenzen der Halbleiterlithographietechnologie mit ASML- XT1950HI fort und ermöglicht die nächste Generation von IC-Fortschritten in der globalen Halbleiterindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor