Gebraucht ASML XT 760F #9243126 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
XT 760F
ID: 9243126
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
DUV Scanner, 12" Does not include CYMER laser 2006 vintage.
ASML XT 760F ist ein Wafer-Stepper, der optische, mechanische und rechnerische Funktionen zum Zwecke der Lithographie in der Halbleiterherstellung koordiniert. Es ist in der Lage, den Mehrprojekt-Waferdurchsatz bis zu viermal schneller als sein Vorgänger zu erhöhen und ist mit einem 2K-Vakuumfutter und vollständig AUTO DCG/DCP ausgestattet. ASML XT:760F verfügt über eine 5X/6X hohe numerische Apertur für i-line oder ArF Lithographie. Es ist mit einem neuronalen Netzwerk mit Doppelfeldabtastung mit verbessertem Fokusretikel und Linsentuner ausgestattet. Das neuronale Netzwerk des Doppelfeldscans hat die Fähigkeit, konturierte, gekrümmte Oberflächen zu detektieren. Ein feldgerechtes FXLTM-Retikel sorgt für ungleichmäßige Steigungsmuster auf der gesamten Oberfläche des Wafers. XT 760 F wurde mit einem 11-Grad-Scan entwickelt, um eine extrem geringe Verzerrung und eine supergenaue Platzierung optischer Felder auf dem Wafer zu erzeugen. Es verfügt über ein Schnell-Tuning-System (FTS) für schnellen Retikle-Austausch und eine maximale optische Feldgröße von 30 µm für erweiterte Funktionen. Darüber hinaus verfügt XT 760F über eine breite Palette von Funktionen, einschließlich geringer Defektivität durch Fehlerdosisvorhersage, 4D-Nähen für erhöhte Gleichmäßigkeit und erweiterte Datenlogging auf Waferebene. ASML XT 760 F bietet im Vergleich zu älteren Wafer Steppern eine verbesserte Bild- und Overlay-Qualität. Dies ist dank seiner verbesserten Musterkorrektur und automatischen Belichtungsalgorithmen mit besserer Wiederholbarkeit über Belichtungsfelder hinweg. Der Wafer-Stepper wird über eine Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche und eine menügesteuerte Software verwaltet. XT:760F können für jede Anwendung angepasst werden, indem zusätzliche Optionen hinzugefügt werden, einschließlich Kontaktbildgebung, Chrom oder Scan-Reiniger/Booster-Konfigurationen. Der Wafer-Stepper verfügt auch über ein eingebautes Sicherheitsmodul, um abnorme Photomasken oder gedruckte Bedingungen schnell zu erkennen. ASML XT 760F setzt ASML Tradition der Qualität Wafer Stepper zu einem erschwinglichen Preis. Es verfügt über hochmoderne Komponenten und ein Design mit verbesserter Qualität und Leistung. Mit ASML XT:760F können Kunden maximale Fehlervermeidung an Wafern und höhere Erträge erwarten.
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