Gebraucht ASML XT 760F #9273568 zu verkaufen
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ID: 9273568
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
DUV Scanner, 12"
Sub process: Low KrF
Material / Chemical: Align
SMIF / FOUP
TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Load module
Process module
Workstation
ETC
(70) Lenses
GIGA A700GK Laser
Machine parts and covering panels:
Wafer stage
Bottom module
Charcoal filter
Side channel blower
(5) Machine parts
Process module:
PM1: Light source
PM2: Alignment
PM3: Stage
Cabinet:
ELEC
MDC
LCWC
MCWC
RSRC
WSRC
Air control
Exhaust
Laser:
AOM
LMA
Excimer
Composition:
ETC
Parts
Tool
Operating system: UNIX
2008 vintage.
ASML XT 760F ist ein Wafer-Stepper für die Photolithographie. Es ist eine hochmoderne Maschine, die hochauflösende Bauteile mit minimaler Varianz herstellen kann. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Substraten unterzubringen, einschließlich Quarz, Silizium und Glas, so dass Komponenten mit den genauen Spezifikationen gewünscht werden können. ASML XT:760F ist ein fortschrittliches optisches Projektionsgerät, das sich in x-, y- und z-Richtung bewegt. Es enthält auch einen digitalen Fotoprozessor, der Messungen während der Bildgebung durchführen und hochpräzise Teile gewährleisten kann. Es weist einen Neigungskompensator auf, der eine eventuell auftretende Fehlausrichtung des Substrats oder der Maske korrigiert, was zu überlegenen Feinteilungsmerkmalen führt. XT 760 F enthält eine 8-Band-Lichtquelle, die verschiedene Wafergrößen von bis zu 12 Zoll Durchmesser mit bis zu 20 Wafern gleichzeitig aufnehmen kann. Es verfügt auch über ein motorgetriebenes halbautomatisches Wafer-Handling-System, das den Wafer sicher bewegen kann, ohne die Oberfläche zu verkratzen oder zu beschädigen. Die Ausrichtung und Auflösung der XT:760F sind hervorragend, mit einer Genauigkeit von 0,4 µm und einer Linienbreitenänderung von 0,07 µm. Dies ist ideal für ultrafeine Bauteile, und seine leistungsstarke optische Einheit kann die Funktionsgrößen bis zu 0,2 µm fokussieren. XT 760F ist sehr zuverlässig und verfügt über eine ganze Reihe von Sicherheitsvorkehrungen, um Konsistenz und Genauigkeit bei jedem produzierten Teil zu gewährleisten. Es verfügt über einen Schutzschrank, in dem die Optik untergebracht ist, und eine stationäre, autonome Reinigungsmaschine, die an jeden Bedarf angepasst werden kann. Für die ultimative Flexibilität bietet ASML XT 760 F auch maskenlose Fertigungsfunktionen, so dass Benutzer es programmieren können, um schnell Komponenten ohne Maske zu produzieren. Dies kann die Gesamtproduktionskosten und -zeit reduzieren. ASML XT 760F ist ein Top-Wafer-Stepper und eine gute Wahl für alle, die eine zuverlässige und präzise Maschine suchen, die höchsten Ansprüchen gerecht wird. Es ist die perfekte Maschine für diejenigen, die Ultra-Fine-Pitch-Funktionen benötigen oder hochauflösende Komponenten produzieren möchten.
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