Gebraucht ASML XT 760F #9276965 zu verkaufen

ASML XT 760F ist ein Großserienproduktionshalbleiteraussetzungswerkzeug (Oblate Schritt-) mit fortgeschrittenen Bildaufbereitungsfähigkeiten, die am technologischsten fortgeschrittenen Oblatenproduktionszyklen zu unterstützen. ASML XT:760F ist ein mehrstufiges Gerät mit einem Chuck 6 und einem Overlay Measurement System (OMS). Es ist in der Lage, 350mm Wafer mit einer hohen Genauigkeit und Geschwindigkeit abzubilden. XT 760 F ist für kritische Bildgebungsanwendungen konzipiert, die in Spitzenprozessen wie Logik, Speicher und High-End-Analog eingesetzt werden. Es verfügt über eine proprietäre Röntgenquelle, bietet überlegene Dosissteuerung und hohe Energieauflösung mit minimalem TIRF. XT:760F können zwischen 1 und 90 Zeilen in einer einzigen Belichtung abbilden, ohne dass Nähte erforderlich sind. Erweiterte Phasenverschiebungsalgorithmen, die in XT- 760F verwendet werden, ermöglichen die Abbildung auf den empfindlichsten gemusterten Funktionen ohne die Verwendung von Nähten. ASML XT 760 F verfügt auch über ein ausgeklügeltes OMS, das schnelle, zuverlässige Echtzeitkorrekturen durch Messung der Overlay-Genauigkeit relativ zu einer Ausrichtschicht erzeugt. ASML XT 760F hat eine Mindesteigenschaftsgröße von 11 nm, kann Belichtungsverhältnisse bis zu 50:1 erreichen und unterstützt eine breite Palette von Funktionsgrößen zwischen unter 0,25 Mikron und bis zu 18 Mikron. ASML XT:760F ermöglicht schnelle Durchsätze von bis zu 3.500 Wafern pro Stunde mit Unterstützung einer zuverlässigen Einheit für Tracking und Inline-Messtechnik. XT 760 F ist kompatibel mit Sorten von fortschrittlichen Photoresist, einschließlich ArF, KrF, HSQ und i-line, so dass eine verbesserte strukturierte Funktion Feinheit. XT:760F beinhaltet die ASML Advanced Control Software Suite (ACS Suite), die für eine intuitive, prozessorientierte Steuerung vom Bediener aus ausgelegt ist. Die ACS Suite bietet integrierte Algorithmen für kritische Bildgebungsfunktionen wie Dosis, Fokus, Ausrichtung und Belichtungstreue. XT 760F enthält auch eine benutzerfreundliche Touchscreen-Schnittstelle, die Wafer-Tracking, Maschinenoptimierung und Alarmfunktionen unterstützt. ASML XT 760 F kann problemlos in bestehende und neue ASML-Wafer-Verarbeitungssysteme mit Hightech-Wafer-Mapping- und Verschmutzungsüberwachungstechnologie integriert werden. ASML XT 760F ist für eine optimale Bildgebungsleistung konzipiert und zertifiziert, um anerkannten Industriestandards in Bezug auf elektromagnetische, Umwelt- und Sicherheitsanforderungen zu entsprechen.