Gebraucht ASML XT 850F #9244892 zu verkaufen

ASML XT 850F
Hersteller
ASML
Modell
XT 850F
ID: 9244892
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Stepper, 12" 2006 vintage.
ASML XT 850F ist ein Wafer-Stepper, der integrierte Schaltungen auf Wafern in einem Fertigungslabor erstellt und inspiziert. Der Stepper nutzt die optische Immersions-Lithographie, um durch eine Reihe hochpräziser Bewegungen und Lichtbelichtungen Bilder auf der Oberfläche eines Wafers zu erzeugen. Es ist in der Lage, Chips mit unglaublich hoher Auflösung bis zu 0,13 Mikrometer in der x-Achse und 0,20 Mikrometer in der y-Achse zu produzieren. XT 850F verwendet eine proprietäre, leistungsstarke Laserausrüstung, um das Lithographiemuster auf einer Reihe von Substraten zu belichten. Der Laser wird mit einem Multifeld-optischen System geliefert, um eine hohe Beleuchtungsgleichförmigkeit zu erzeugen und eine verbesserte Abtastqualität zu erzeugen. Der Wafer wird an einem Spannfutter befestigt und durch eine leistungsstarke, linearmotorisch angetriebene Stufe bewegt. Für eine verbesserte Abtastgleichförmigkeit verfügt ASML XT 850F stepper über eine Temperaturregeleinheit, um den Wafer innerhalb eines Zehntels Celsius zu halten. Es verfügt auch über eine hochsensible, Hochgeschwindigkeits-Interferometer Closed Loop Metrology Machine, um Höhenunterschiede genau und schnell zu erkennen. Das Bildgebungswerkzeug auf dem Stepper enthält sowohl einen Autofokus als auch ein automatisches Belichtungsgerät für eine überlegene Fokussierleistung. Es verwendet auch eine hochpräzise Schrittstufe, motorisch angetrieben, Stufe für genauere Positionierung und verbesserte Bildqualität. In Bezug auf den Betrieb ist XT 850F auf Benutzerfreundlichkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt. Neben seiner extremen Präzision und Wiederholbarkeit ist es auch mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen und speziellen Alarmfunktionen zur Vermeidung und Erkennung von Fehlstellungen ausgelegt. Es verfügt auch über eine lange Lebensdauer mit wartungsfreiem Betrieb. Insgesamt ist ASML XT 850F ein unglaublich vielseitiger und zuverlässiger Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um hochauflösende, hochpräzise integrierte Schaltungen auf Wafern zu produzieren. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, darunter ein Temperaturregelungsmodell, Autofokus- und Auto-Belichtungssysteme, eine Hochleistungslaserausrüstung und ein Closed Loop Metrology System, um überlegene Bildgebungsleistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten.
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