Gebraucht C SUN Stepper #293669782 zu verkaufen

Hersteller
C SUN
Modell
Stepper
ID: 293669782
EBARA AA10 Pump missing.
C SUN Stepper ist ein fortschrittlicher Wafer Stepper, der zur Strukturierung integrierter Schaltungen mit Photolithographie verwendet wird. C SUN Stepper ist entworfen, um eine präzise, hochauflösende Belichtung von integrierten Schaltungsdesigns zum Licht zu erzeugen. Es besteht aus mechanischen, bildgebenden und Beleuchtungskomponenten, die genaue Formelementgrößen und wiederholbare Ausrichtung ermöglichen. Mechanisch verfügt Stepper über eine Vier-Quadranten-Ausrichtungsausrüstung, die aus einer Retikelstufe, die das Retikel (oder die Maske) hält, und einer Waferstufe, die den Wafer oder das Substrat hält, besteht. Das System unterstützt Semi-Automatisierung und Automatisierung und bietet Platz für Wafer bis zu 8 "Größe. Darüber hinaus unterstützt C SUN Stepper schrittweise und wiederholte Ausrichtung und Nähen von Feldern. Stepper bietet eine Bildverarbeitungseinheit, die eine optische Maschine mit hoher Öffnung in Kombination mit hochpräzisen Motoren für Bildverschiebungs- und Vergrößerungsoperationen verwendet. Es verfügt über eine variable numerische Apertur (NA) von 0,15 bis 0,55, mit einer maximalen Auflösung von 0,4 Mikrometern, und eine High-Numerical Aperture (HNA) -Linse, die Bilder von 0,25 Mikrometern unterstützt. Das Werkzeug umfasst auch einen verstellbaren Retikelfokus-Mechanismus. C SUN Stepper verfügt auch über eine variable Beleuchtung Asset, die Multi-Zone-Fokus-Steuerung und Großfeld-Uniformitäten mit einer konsistenten Tiefe des Fokus unterstützt. Es verwendet Blenden mit variabler Öffnung und variabler Dämpfung, um das Beleuchtungsprofil für beste Belichtungsleistung zu verfeinern. Stepper bietet auch eine automatische Ausrichtungsfunktion, die eine hohe Wiederholbarkeit auch bei langen Produktionsläufen gewährleistet. Insgesamt ist der C SUN Stepper für die genaue und zuverlässige Strukturierung integrierter Schaltungen ausgelegt. Die Kombination aus Bild-, Beleuchtungs- und Ausrichtungskomponenten macht es zu einer zuverlässigen Wahl für die Herstellung von integrierten Fertigungsschaltungen.
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