Gebraucht CANNON No210 #9284908 zu verkaufen

CANNON No210 Wafer Stepper ist ein Spitzen-Halbleiter-Lithographie-Tool für hochpräzise Lithographie von integrierten Schaltungen verwendet. Der scannertypische Maskenausrichter, mit dem das Werkzeug ausgestattet ist, ermöglicht eine vollautomatische und zuverlässige Ausrichtung von Mustern auf Substrate und Fotomasken und ermöglicht eine schnelle und genaue Photolithographie-Verarbeitung. Die Scanner-Funktionen des Geräts bieten eine Auflösung von bis zu 1 .2nm und eine Aufnahmefläche von 42x42mm (in vertikaler Richtung X-Y-Ebene). Darüber hinaus können Anwender bis zu 6 Belichtungsköpfe für mehrschichtige Anwendungen montieren und verschiedene optomechanische Elemente der Kamera gleichzeitig konfigurieren. Das CANON No210 verfügt über eine Mikrostufen-Scan-Fähigkeit, die in mehreren Konfigurationen betrieben werden kann. Single-Shot-Stage-Scanning ermöglicht die vollständige Musterabdeckung jedes Bildfeldes auf einmal, während Multi-Field-Scanning die Trennung der Feldbelichtung in mehreren Teilen ermöglicht und höhere Belichtungen in jedem Abschnitt ermöglicht, wodurch die Bild- und Merkmalsgenauigkeit verbessert wird. Der Wafer-Stepper ist auch mit einer Reihe von Funktionen für den automatisierten Betrieb ausgestattet. Die automatisierte Belichtungssteuerung passt die Belichtungsparameter während des Belichtungsprozesses kontinuierlich an, während die automatische Fokusanpassung den optimalen Fokus sowohl in den Höhen als auch in den Breiten über das gesamte Waferfeld hält. Um Genauigkeit und Stabilität während des Belichtungsprozesses zu gewährleisten, bietet das Gerät auch automatische Beleuchtungssteuerung und Design-Rule-Check (DRV) Kalibrierung. Insgesamt ist die CANON CANNON No210 ein anspruchsvoller und umfassender Wafer-Stepper, der eine schnelle und genaue Belichtung von integrierten Schaltungen durchführen kann. Die Kombination aus Scanner und Mikrophase ermöglicht eine breite Palette von Belichtungen und Auflösungen, während seine automatisierten Funktionen einen zuverlässigen, konsistenten Belichtungsprozess bieten.