Gebraucht CANNON No36-3 #9284913 zu verkaufen

CANNON No36-3 ist ein automatisierter Wafer-Stepper für die automatisierte Belichtungsverarbeitung in Halbleiterproduktionsanwendungen. Es ist in der Lage, mit dem kontrastreichen XTHC-Licht seiner x-Achsen-Bewegungsquelle Muster zu belichten. Der Wafer-Stepper verfügt über eine Luftfederung und eine hochauflösende bildgebende Ausrüstung, die den Durchsatz mit einer hoch definierten Schrittgenauigkeit und Musterreproduzierbarkeit verbessert. Die XTHC-Lichtquelle ermöglicht es, den Wafer für eine optimale Verarbeitung genau zu positionieren. Die vollautomatische Fähigkeit mit dynamischer Zentrierung ermöglicht eine höhere Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit von Vollfeldbildern. Neben seinen Lichtintensitätsschwankungen verfügt es auch über ein hochauflösendes Bildsensor-Array und eine Xthc-Lichtversorgung. Die Genauigkeit dieses Systems ist ein Markenzeichen seiner Leistung und bietet eine hochauflösende Musterstufe. Der Wafer-Stepper ist mit einem Edelstahlgerüst aufgebaut und verfügt über vier Dämpfungsarme mit einstellbarer Steifigkeit, die den Wafer gleichmäßig hängen lassen und Vibrationen verhindern. Die Antriebsschiene befindet sich in Y-Achsen-Bewegungsrichtung und ein Gegengewicht auf der Z-Achse ermöglicht eine präzise Steuerung des Wafer-Ausrichtungszustandes. No36-3 verwendet ein Cross-Stop-Bewegungsprofil mit Vibrometern in allen drei Achsen zur hochauflösenden Bildaufnahme unter unterschiedlichen Belastungsbedingungen. Die Bildanalyse erfolgt entlang der X-Achse mit bis zu 16 Spitzenabschnitten pro Linie. Mit dem Streuungsverfahren werden die Abtastlinienrichtungen und der Neigungswinkel des Wafermusters gemessen. Diese Daten werden dann bei der Bildverarbeitung verwendet, um ein umprojektiertes unscharfes Linienmuster zur präzisen Registrierung zu erzeugen. CANNON No36-3 ist mit einem 20-Bit-Encoder zur Steuerung der Wafer-Positionierung und synchronisierten X-Y-Laufwerken für optimalen Durchsatz ausgestattet. Außerdem verfügt der Stepper über einen Self-generierten Program Code (SPC) und einen menügesteuerten Parameter-Controller für einen effizienten Betrieb. Die in sich geschlossene Prozesssteuerung bietet je nach Prozessrezept und Belichtungsauflösung eine Vielzahl von Belichtungszeiten. Die Maschine ermöglicht Mehrfachbelichtungen und spezialisierten Betrieb für die Blattsteuerung. Mit seinen automatischen Tuning- und Kalibrierfunktionen sorgt No36-3 für eine präzise Belichtung, die an das gewünschte Muster angepasst werden kann. Das Werkzeug hat zudem einen Toleranzbereich von ± 10 μ m und eignet sich somit für die hochauflösende Waferintegration. CANNON No36-3 ist ein fortschrittlicher automatisierter Wafer-Stepper, der klare, genaue Muster auf Wafersubstraten erzeugen kann. Seine hochmoderne Leistung und seine Eigenschaften machen es ideal für hochpräzise Belichtungsverarbeitung in Halbleiterproduktionsanwendungen.