Gebraucht CANON 13 #9284912 zu verkaufen

CANON 13 ist ein Präzisionsscheibenstepper der Firma CANON Inc. Es ist für hochgenaue Photolithographie in der Halbleiter-, Photonik, MEMS und IC/MEMS/BIO-Industrie konzipiert. Die Maschine ist für Anwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert und kann extrem hochwertige Bilder auf Substraten wie Silizium, Quarz und Glas erzeugen. 13 weist ein Doppelkopfdesign mit einer optischen Haupteinheit und einer separaten Verschlußsteuereinheit auf. Die optische Haupteinheit enthält einen frequenzverdoppelten KrF Excimer Laser für hohen Durchsatz auf dünnen Wafern. Es enthält auch zwei einstellbare Fokuslinsen, eine für die Lichtquelle und die andere für die Projektionslinse, wodurch die Lichtintensität, die Punktgröße und der Fokus präzise gesteuert werden können. Das Projektionsobjektiv ist eine dreigruppige asphärische Linse, die für die Hochleistungs-Lithographie auf Wafern ausgelegt ist. Die optische Haupteinheit enthält ferner eine Belichtungsstufe, die einen motorischen Antrieb und Stützmechanismen für den Wafer aufweist. Die Verschlusssteuereinheit sorgt für die Verschlusszeit des Lasers und ermöglicht eine präzise Steuerung der Belichtungszeit. Es enthält Verschlussarmmechanismen und eine zeitbasierte Verschlusssteuerung für eine genaue Belichtungssteuerung. Die Belichtungszeit kann von 0.2ms bis 5ms eingestellt werden. CANON 13 enthält auch einen X-Y Autostage, der Wafer-Scanning über den gesamten Belichtungsbereich ermöglicht. Es kann bis zu 2000mm/sec in jeder Richtung scannen. Der X-Y Autostage wird von einem hochgenauen Rückkopplungsmotor angetrieben. Es enthält auch eine X-Y synchrone Steuerdatenausgangsschaltung, die eine genaue Synchronisation zwischen dem Verschlusssteuergerät und dem Autostage ermöglicht. 13 weist außerdem eine hochgenaue Ausrichtungs- und Fokusregeleinrichtung auf, die eine präzise und präzise Bildgebung gewährleistet. Es verfügt über ein hochpräzises automatisches Ausrichtsystem, das in der Lage ist, den Laser genau auf die Fotomaske auszurichten. Die Fokus-Steuereinheit ist so ausgelegt, dass die Projektionslinse genau auf den Wafer fokussiert ist. CANON 13 ist eine fortschrittliche, hochpräzise Lithographie-Maschine, die für maximale Genauigkeit und Durchsatz ausgelegt ist. Seine Funktionen und Bedienelemente ermöglichen es ihm, extrem genaue und qualitativ hochwertige Bilder zu produzieren. Seine Fähigkeit, große Bereiche schnell zu scannen und gleichzeitig die Belichtungszeit und Genauigkeit genau zu kontrollieren, macht es zur perfekten Wahl für diejenigen, die qualitativ hochwertige und zuverlässige Lithographielösungen benötigen.