Gebraucht CANON ES2 #9272652 zu verkaufen
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CANON ES2 ist ein Wafer Stepper, bekannt für seine überlegene Genauigkeit, hohen Durchsatz und ausgezeichnete Bildqualität bei niedrigen Dosen von Strahlung (Röntgen). Es ist eine der fortschrittlichsten Lösungen für die Halbleiterindustrie, die häufig für die Erstellung von Mikrostrukturbildern verwendet wird. CANON ES 2 wurde entwickelt, um schnelle, präzise Scans und motorisierten Betrieb mit einem Durchsatz von bis zu 1 Wa/sec als Standardeinstellung anzubieten. Auch bei dieser Geschwindigkeit wird die Genauigkeit des Scans hoch gehalten, mit dem Potenzial, Stufen der Genauigkeit bis zu 0,2 µm zu erreichen. Als Waferstufe weist er einen zweistufigen Schrittmechanismus auf, der aus einer XY-Abtaststufe und einer vertikalen Montagestufe besteht. Die XY-Stufe verfügt über ein piezoelektrisches Direktantriebssystem, wodurch die Notwendigkeit für sperrige, traditionelle Schrittmotoren für verbesserte Genauigkeit, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit entfällt. ES2 ist mit einem hocheffizienten optischen System ausgestattet, das es dem Anwender ermöglicht, einen partiellen Scan-Modus zu nutzen und die Belichtungszeit bei gleichzeitiger Beibehaltung der Bildqualität zu reduzieren - mit einer Reihe von möglichen Auflösungen für eine genaue Bildgebung. Es ist auch in der Lage, Mikrobelichtung, eine Funktion, die es ermöglicht, Bildgebung auf sehr kleinen Flächen zu schaffen, so klein wie 5 µm, mit hoher Genauigkeit. Der Wafer-Stepper bietet dem Anwender zudem eine Reihe von Softwareoptimierungsfunktionen, um die Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit der Bildgebung zu verbessern. Seine automatische Belichtungssteuerung ermöglicht eine Bilderfassung mit einem Schuss mit konstant genauen Ergebnissen, während seine Multi-Belichtungskompensationssoftware es dem Benutzer ermöglicht, Belichtungen zu überlappen, die hochwertige Bilder erzeugen. Darüber hinaus trägt die Driftkorrektur dazu bei, die Schwerkraft und Vibration der Erde auszugleichen, um eine höhere Auflösung bei weniger Fehlern zu gewährleisten. Insgesamt ist ES 2 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der eine hochgenaue Bildgebung bei minimaler Belichtungszeit gewährleistet. Der leistungsstarke zweistufige XY-Schrittmechanismus, das effiziente optische System und die Vielzahl an Softwarefunktionen machen ihn zu einer idealen Wahl für alle spezialisierten Halbleiterabbildungsanforderungen.
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