Gebraucht CANON ES3 #9272653 zu verkaufen

CANON ES3 ist eine hochpräzise Halbleiterlithographie-Ausrüstung, die einen Wafer-Stepper verwendet, um fortschrittliche Halbleiterbauelemente zu erstellen. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Prozessanforderungen zu bewältigen und kann Geräte zwischen 45nm und 180nm herstellen. Seine Schritttechnologie ist ein Hochdurchsatzsystem, das maximale Effizienz und überlegene Reproduzierbarkeit bietet. CANON ES 3 verfügt über ein Ausrichtungs- und Belichtungsmodul, eine Waferstufe, einen Waferübertragungsmechanismus und eine Waferspanneinheit. Das Ausrichtungs- und Belichtungsmodul ist für die Analyse und Ausrichtung des Lichtstrahls auf die gewünschte Position auf dem Wafer verantwortlich. Die Waferstufe ermöglicht eine präzise Stufung und Positionierung der Wafer zur präzisen Ausrichtung vor der Belichtung. Der Waferübertragungsmechanismus gewährleistet eine genaue Bewegung des Wafers zwischen der Waferstufe und dem freiliegenden Bereich. Die Wafer-Spannmaschine sorgt für eine sichere und genaue Positionierung des Wafers bei jedem Schritt des Lithographieprozesses. ES3 nutzt die Beleuchtungsoptimierung, um die Belichtungsgenauigkeit zu verbessern. Sein Belichtungswerkzeug besteht aus einer fortschrittlichen lithographischen Beleuchtung, einem Laserausrichtungsmodell und einer präzisen kundenspezifischen Linse. Die Beleuchtungseinrichtung wird durch einen Hochleistungslaser gesteuert, der den Strahl für die Belichtung genau ausrichtet. Der Laser nutzt die integrierte, präzise gesteuerte Optik, um Belichtungsgenauigkeit und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Das kundenspezifische Objektiv besteht aus zwei großen unabhängigen Linsen und zwei kleineren Hilfslinsen, die sorgfältig ausgerichtet sind, um eine gleichmäßige Belichtung über den Wafer zu gewährleisten. ES 3 verfügt außerdem über ein leistungsstarkes Messsystem, das kritische Chipparameter wie Dynamikbereich, Fokustiefe, Linienbreite und kritische Dimension messen kann. Dies gewährleistet präzise Messungen bei schnellen Checkout-Geschwindigkeiten und liefert den Kunden detaillierte und genaue Belichtungs- und Lithographieergebnisse. CANON ES3 Wafer Stepper ist eine leistungsstarke Einheit, die genaue, zuverlässige und leistungsstarke Lithographieergebnisse liefert. Seine Eigenschaften machen es für Anwendungen geeignet, die von einfachen Matrizen bis hin zu komplexen High-End-Chip-Designs reichen. Sein hoher Durchsatz und präzise optische Komponenten sorgen für höchste Genauigkeit und Leistung.