Gebraucht CANON ES5 #9227408 zu verkaufen
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CANON ES5 ist ein hochspezifischer Wafer-Stepper, der im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine hochgenaue und hochdurchsatzreiche Belichtungsverarbeitung von Wafern zu ermöglichen und ist in der Lage, eine extrem hochgenaue Scanbelichtungsverarbeitung für Sub-Mikron-Wafer zu realisieren. CANON ES-5 verwendet ein 500-mm-Quadrat-Feld mit einer räumlichen Genauigkeit von 0,047 Mikrometern (die Gesamtgenauigkeit der Ausrüstung ist gleich oder kleiner als 3,5 nm) und einer Belichtungsgenauigkeit von 0,25 nm. Es ist mit einem einzigartigen Abtastsystem ausgestattet, das eine Genauigkeitsverbesserung auch bei der Verarbeitung von Leiterplatten verschiedener Formen ermöglicht. ES5 nutzt eine Ultra-High-Speed-Wafer-Handhabung, die bis zu 48 Wafer in einem Schlag ohne Leckage verarbeiten kann. Dies ermöglicht Waferbelichtung bei hoher Geschwindigkeit und hoher Genauigkeit. ES-5 verfügt über eine M12 motorisierte Beugungsautomatik, die eine hochpräzise Ausrichtung und Wiederholbarkeit im Hochgeschwindigkeits-Scanmodus bietet. Zusätzlich werden ein motorgetriebener Auto-Fokus-Mechanismus und ein Full-Overlap-Scan-Modus verwendet, um eine hochwertige Belichtung von Wafern zu gewährleisten. In den Stepper ist auch eine Bildverarbeitungsmaschine eingebaut, mit der Fehlerbilder korrigiert und Gesamtbelichtungszeiten reduziert werden. Darüber hinaus kombiniert CANON ES5 eine hochpräzise Hochgeschwindigkeits-Retikelstufe mit dem laminierten Glassubstrat und eignet sich somit für eine breite Palette von Dünnschichtgeräten. Ein weiteres Merkmal dieser Maschine ist ihr fortschrittliches Steuerungswerkzeug, das eine stabile und genaue Positionierung bietet. Der Stepper beinhaltet auch ein modernes proprietäres optisches Asset, das eine Kombination aus Linsen und Spiegeln verwendet, um optische Verzerrungen zu reduzieren und Flare zu minimieren. Dies führt zu hochwertigen Bildern mit überlegener Bildauflösung und hohem Kontrast. Schließlich verfügt CANON ES-5 auch über ein Vakuum-Modell und integrierte Behälter für kleine Wafer, die eine einfache Installation und Beladung ermöglichen. Der Stepper bietet auch eine Reihe von automatischen Be- und Entladeeigenschaften, die sicherstellen, dass das Wafer-Handling auf ein absolutes Minimum reduziert wird. Alles in allem ist ES5 ein unglaublich zuverlässiger und effizienter Stepper, der für eine optimale Belichtungsverarbeitung nach SEMI-Standard und eine genaue Positionierung von Wafern entwickelt wurde. Es kann eine hochpräzise Ausrichtung und Belichtungsgenauigkeit erzielen und gleichzeitig die Gesamtbelichtungszeiten reduzieren. So können Hersteller qualitativ hochwertige und präzise Produkte herstellen, die in den unterschiedlichsten Anwendungen eingesetzt werden können.
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