Gebraucht CANON EX4 #9242644 zu verkaufen

Schritt-CANON EX4 Oblate ist eine Hochleistungsoblatensteindruckverfahrenausrüstung, die entworfen ist, um eine Vielfalt der Produktionsbedürfnisse zu behandeln. Dieses System eignet sich ideal für Verpackungen auf Waferebene und andere photolithographische Anwendungen. Es hat einen modularen Aufbau, der eine hochpräzise XY-Positionierstufe, eine Belichtungseinheit und eine Durchsatzsteuereinrichtung umfasst. Die XY-Positionierstufe von EX4 hat eine hohe Auflösung von 0,2 μ m und eine Wiederholbarkeit von 0,1 μ m, was eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Platzierung von Lithographieelementen bietet. Die Stufe besteht aus einer zweistufigen Maschine mit einer Niederstufe für Grobbewegungen und einer Hochstufe für Feineinstellung. Die Motion Control Technologie basiert auf dem firmeneigenen Servo4 Motion Control Module. Dies hilft, eine reibungslose und genaue Bewegungssteuerung im gesamten Wafer-Scan-Pfad zu gewährleisten. Das Belichtungswerkzeug von CANON EX4 besteht aus einem motorgetriebenen Spiegelscanner, 30-kHz High-Speed-Scanning und einem Hochleistungs-IR-Laser. Es verfügt außerdem über einen zweiachsigen synchronen Scanmodus, der es ermöglicht, die Größe und Gleichmäßigkeit des Strahlflecks vollständig zu steuern. Das Gerät verfügt außerdem über eine optionale optische Antennenbildmessvorrichtung, die eine ordnungsgemäße Waferbelichtung gewährleistet. Der Durchsatzregler von EX4 ist der N-Controller. Dieses Gerät beeinflusst die Durchsatzraten des Modells durch Anpassung der Druck- und Durchflussregeleinstellungen. Die Steuerung weist eine Zeitgebereinstellung auf, die so eingestellt werden kann, dass gewünschte Belichtungszeiten erreicht werden. Insgesamt ist CANON EX4 Wafer Stepper eine fortschrittliche Wafer-Lithographie-Ausrüstung mit einem hohen Maß an technologischer Raffinesse. Es bietet robuste und zuverlässige Leistung und ist eine gute Wahl für eine Vielzahl von Verpackungs- und Photolithographie-Anwendungen auf Waferebene.