Gebraucht CANON EX4 #9247920 zu verkaufen

CANON EX4 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der als Schrittlösung der nächsten Generation in der Präzisionslithographie und Materialanalyse konzipiert wurde. EX4 ist ein Vollfeld-Scanning-Stepper, der zu Belichtungsfeldgrößen von 25mm bis 300mm in der Lage ist. Der Stepper verfügt über eine erweiterte Präzisionsausrichtung mit telezentrischen optischen Elementen und erweiterter Fokusautomatisierung, die eine überlegene Produktivität und Wiederholbarkeit gewährleistet. Diese Eigenschaften, kombiniert mit CANON CSPI (Common Stepper Precision Initiative), ermöglichen eine maximale Overlay-Genauigkeit von 0,05 µm (20 nm). CANON EX4 hat eine maximale Auflösung von 0,4 µm und kann bis zu 3 Expositionen pro Düse in einem einzigen Schuss bei bis zu 8 μ m für niedrige Vergrößerung oder 10µm für hochauflösende Vergrößerung durchführen. Der Stepper verfügt auch über eine doppelte Board-Platzierungsausrüstung, die sowohl manuelle als auch automatisierte Bedienung ermöglicht, so dass Benutzer das Board-Muster sowohl in Karten- als auch in Bildformaten anpassen und anzeigen können, um die Effizienz und Genauigkeit zu erhöhen. EX4 verfügt über ein beeindruckendes optisches System, das eine Fokustiefe von bis zu 12 µm bietet und ein schnelleres, genaueres Belichtungsfeld ermöglicht. Darüber hinaus ist die Kraftauffrischeinheit des Schrittschalters so konzipiert, dass sie Fehler bei der Belichtung erkennt und die z-Achse über das gesamte Feld schnell korrigiert. Die Maschine beseitigt auch Streulicht Störungen, um eine genaue Bildgebung zu gewährleisten. CANON EX4 ist pflegeleicht und verfügt über überlegene Sicherheitsmaßnahmen für Personal und Produkte. Vollständig in das CANON Layout Manager-Softwarepaket integriert, können Anwender auch auf über 10.000 teilkonfigurierbare Rezepte und Bibliotheken für eine optimale Belichtungssteuerung und Wiederholbarkeit sowie auf einen Bordroboter-Handler für einfaches Board-Handling zugreifen. Letztlich ist EX4 der ideale Wafer Stepper für Fabs und Universitäten, die überlegene Genauigkeit und reibungslosen Betrieb benötigen. Mit den neuesten Wafer-Scanning-Lösungen und störungsfreiem Betrieb ist CANON EX4 das perfekte Werkzeug für die kontrollierte, präzise Lithographie und Materialanalyse.