Gebraucht CANON EX4 #9356495 zu verkaufen

CANON EX4
Hersteller
CANON
Modell
EX4
ID: 9356495
Steppers Bus module missing.
CANON EX4 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper von CANON, Inc., einem japanischen Unternehmen für bildgebende und optische Produkte. Es ist ein „fortgeschrittenes“ Belichtungsinstrument, das in der Lage ist, eine erweiterte tonale Kontrolle, Auflösung, Wiederholbarkeit der Funktionsgröße und überlegene Registrierungsgenauigkeit zu erzielen. EX4 wird verwendet, um hochauflösende Bilder auf Wafer und andere flache Substrate in der Halbleiter-, Mikroelektronik und anderen Industrien zu drucken. CANON EX4 ist in der Lage, Bilder mit hochgenauen Merkmalsgrößen von weniger als 1 Mikron und Wiederholbarkeit bis zu 0,5 Mikrometer zu drucken. Es hat einen breiten Belichtungsspielraum und eine tonale Steuerung von bis zu acht Ebenen. Der Belichtungskopf verfügt außerdem über eine Doppelwinkel-Beleuchtungseinrichtung, die Auflösung und Kontrast im Druckbild erhöht. Das Belichtungssystem wurde mit der neuesten Mustererkennungstechnologie entwickelt, so dass das Gerät schnell Muster erkennen und die Belichtungsparameter anpassen kann, um konsistente Ergebnisse zu liefern. EX4 ist unter Berücksichtigung von Sicherheit und Ergonomie konzipiert. Es verfügt über eine einzigartige Lademaschine, die das Waferladen schnell, einfach und sicher macht. Das Werkzeug verfügt über eine Überwachungseinrichtung, die in der Lage ist, vor der Exposition auf Partikel, Kratzer und Schutt auf der Oberfläche zu überprüfen. Es ist auch mit einem antistatischen Modell ausgestattet, das elektrostatische Schäden an den Wafern verhindert. Darüber hinaus hat es einen starren Roboterarm, um Vibrationen zu reduzieren und bietet eine präzise Kontrolle über den Belichtungsprozess. CANON EX4 bietet auch eine Vielzahl von automatisierten Datenanalysetools, bildgebenden Optionen und anderen Funktionalitäten. Diese Optionen umfassen eine integrierte Rezeptschnittstelle, eine automatisierte Werkzeugausrichtungsfunktion, eine optimierte Belichtungsparametereinstellung und eine Fernzugriffsausrüstung zur Überwachung und Steuerung. Es verfügt auch über ein integriertes automatisches Fehlerüberprüfungssystem, das hilft, Bereiche mit Fehlern im Bild zu identifizieren. Insgesamt ist EX4 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der zum Drucken hochauflösender Bilder auf Wafer und andere flache Substrate verwendet wird. Seine Eigenschaften, wie Dual-Winkel-Beleuchtung und antistatische Systeme, geben ihm einen Vorteil gegenüber traditionellen Steppern. Die automatisierte Datenanalyse, die bildgebenden Optionen und die Fernbedienung machen es zu einem wertvollen Werkzeug für die Halbleiter- und Mikroelektronik-Industrie.
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