Gebraucht CANON EX5 #293778968 zu verkaufen

CANON EX5 ist ein Flaggschiff-Wafer-Stepper der CANON Inc. Es wurde 1986 entwickelt und ist seit über 30 Jahren der Industriestandard für Präzisionslithographie. EX5 ist für großvolumige industrielle Anwendungen wie die Chipherstellung konzipiert und kann Mikrominiatur und komplizierte Bilder mit überlegener Genauigkeit erzeugen. CANON EX5 ist ein Schritt-und-Wiederholungs-Gerät, das Bilder von einem Master-Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 10 "erzeugen kann. Es ist mit Fünf-Achsen-Bewegungsfunktionen ausgestattet, die eine vollständige Positionskontrolle und genaue Ausrichtung von Master und Ziel-Wafern ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das System über eine einzigartige Düsenausrichteinheit, die eine genaue Positionierung der einzelnen Düsen auf dem Zielwafer ermöglicht. Mit seiner hohen Wiederholbarkeit und Positionsgenauigkeit ist EX5 in der Lage, Bilder mit extrem hoher Detailgenauigkeit und Gleichmäßigkeit zu erzeugen. CANON EX5 verwendet CANON patentiertes Sinusoid-Gitter, eine fortschrittliche Photolithographie-Technologie, die eine feinere Auflösung als Standardkontaktverfahren ermöglicht. Dies geschieht durch Anordnen eines sinusförmigen Arrays von Laserstrahlen auf dem Wafer, wodurch ein Interferenzmuster erzeugt wird, das bestimmte Bereiche auf dem Wafer freilegt. Durch die Steuerung der Winkel und Winkel zwischen den Linsen und ihren Zentren können unterschiedliche Strukturen auf dem Wafer erzeugt oder verändert werden. EX5 verfügt zudem über eine einzigartige Substratheiztechnologie, die eine thermische Gleichmäßigkeit von Master und Zielscheiben ermöglicht. Dadurch wird eine ungleichmäßige Musterausbreitung und Bildverzerrung durch Temperaturschwankungen verhindert. Darüber hinaus bietet CANON EX5 auch erweiterte Autofokus- und Autofokus-basierte Waferstepper an, die es der Maschine ermöglichen, schnelle Veränderungen im Wafer zu erkennen und den Fokus entsprechend schnell einzustellen. Schließlich verfügt EX5 über ein hohes Maß an Vielseitigkeit in Bezug auf Werkzeuge, da es mit austauschbaren Masken und Linsen sowie maßgeschneiderte Linsen verwendet werden kann. Dies ermöglicht ein höheres Maß an Anpassung in Bezug auf Musterung und Lithographie Optionen. All diese Merkmale, kombiniert mit seiner Erschwinglichkeit, machen CANON EX5 zu einer idealen Lithographielösung für jede industrielle Anwendung.