Gebraucht CANON EX6 #9352053 zu verkaufen

CANON EX6 ist ein Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet wird. Es wird verwendet, um die konsistent detailliertesten und komplexesten Muster auf dem Wafer zu produzieren. Es ist mit einem Bildspiegel ausgestattet, mit dem das Bild der Maske auf den Wafer projiziert wird. Der Spiegel kann sich auf beide Achsen gleichzeitig neigen und fokussieren, was zu höchster Präzisionsgenauigkeit und Bildverzerrungskorrektur führt. EX6 verfügt auch über einen neuen High-Resolution Ratio Expander (HRRE). Diese Technologie bietet extrem präzise und scharfe Abbildungseigenschaften für feinere Linien und stellaren Fokus über den gesamten aktiven Bereich des Wafers. Der HRRE ist mit 8 Objektiven und 4 Spiegeln ausgestattet, um das Licht von der Maske auf den Wafer zu leiten, und liefert eine Profilanzeige von Linien und Oberflächen von < 0,08 μ m. Darüber hinaus verfügt CANON EX6 über ein außergewöhnliches 3-dimensionales Beschleunigungs-/Verzögerungssystem, das die Positionierungszeit unter Beibehaltung der Genauigkeit reduziert und die Produktivität steigert. EX6 wurde entwickelt, um die Weiterentwicklung der Geräteskalierung durch die Integration eines digitalen Bildsystems (DIS) zu erleichtern. Dieses System verwendet ein Bildsensor-Array und enthält Feedback-Technologie, um Optionen zur Optimierung der Auflösung von Mustern bereitzustellen. Der DIS erlaubt Anpassung der Stufenbewegungsverlangsamungsgeschwindigkeit und Abtastgeschwindigkeit, die Oblate zur Maske genau zu positionieren. Zusätzlich zu diesen bemerkenswerten Merkmalen wurde CANON EX6 entwickelt, um Partikelschäden und Partikelverunreinigungen des Wafers zu reduzieren, indem es eine superreine Wasserstrahltechnik verwendet, um den Wafer zu reinigen, während er sich im Stepper befindet. EX6 wurde auch mit erweiterten Diagnosefunktionen ausgestattet, um die Benutzeranpassung von Ausrichtungs- und Overlay-Parametern zu ermöglichen. Seine intuitive und benutzerfreundliche grafische Oberfläche ermöglicht es Benutzern, schrittweise Betriebsdaten zu analysieren und die Betriebsleistung zu optimieren. CANON EX6 ist in der Lage, die höchste Genauigkeit, Präzision und Qualität der Bildgebung zu erreichen, die für die Halbleiterherstellung erforderlich ist, und ist die ideale Wahl für diejenigen, die an der Herstellung von Halbleiterchips beteiligt sind.