Gebraucht CANON FPA 1550 MARK IV-W #9196317 zu verkaufen

CANON FPA 1550 MARK IV-W ist ein Wafer-Stepper, der im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird, um Lithographiemuster genau auf Wafer zu übertragen. Die Maschine ist in der Lage, Substrate bis 24 cm Durchmesser zu verarbeiten und kann eine Ausrichtungsgenauigkeit von 2,5 μ m erreichen. Es verwendet eine voll motorisierte Ausrichtausrüstung, die die XY-Stufe, den Turm und die Z-lineare Stufe umfasst, um eine präzise Bewegungssteuerung und eine hohe Verarbeitungsgeschwindigkeit zu gewährleisten. Mit einer Quecksilber-Lichtbogenlampe projiziert der Stepper den Plattenmaster bei einer Wellenlänge von 193 nm auf einen Wafer. Die Maschine ist mit einem Laser Interference Pattern Aligner (LIPA) System ausgestattet, das die räumliche Beziehung zwischen dem Plattenmaster und dem Wafer misst und eine schnelle Einstellung der Belichtungszeit ermöglicht. Darüber hinaus nutzt der Stepper die Düsen-zu-Düsen-Belichtung, um die notwendige Genauigkeit des lithographischen Musters zu gewährleisten. CANON FPA 1550 MARK IVW verwendet integrierte programmierbare Geräte, um die Wiederholfrequenz und die Belichtungsbedingungen zu steuern. Es hat auch die Möglichkeit, einen externen Computer zu verwenden, um komplexe Mustererzeugungsoperationen zu vereinfachen. Darüber hinaus ist die Maschine mit 3D-Laser-Interferometer-Sensoren ausgestattet, die eine Echtzeit-Rückkopplung und Korrektur der Waferbewegungen ermöglichen. Zur Sicherheit verfügt der Stepper über einen Not-Aus-Knopf, mit dem die Stromversorgung des Geräts sofort abgeschaltet und eine sichere Abschaltfolge eingeleitet werden kann. Zusätzlich kann die Maschine mit einer optischen Gittersensormaschine Waferbeladungsfehler erkennen. Insgesamt ist FPA-1550 MARK IV-W ein fortschrittlicher und zuverlässiger Stepper für die komplexe Lithographie-Verarbeitung in der Halbleiterherstellung. Das motorisierte Ausrichtwerkzeug und die bordseitigen programmierbaren Geräte ermöglichen eine schnelle Reaktion und Anpassung und gewährleisten einen hohen Standard an Genauigkeit und Effizienz. Darüber hinaus verfügt es über zahlreiche Sicherheitsmechanismen zur verbesserten betrieblichen Kontrolle und zum Schutz von Personal und Ausrüstung.