Gebraucht CANON FPA 2000 i1 #9247809 zu verkaufen

CANON FPA 2000 i1
Hersteller
CANON
Modell
FPA 2000 i1
ID: 9247809
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1999
i-Line stepper, 6" 1999 vintage.
CANON FPA 2000 i1 ist ein Wafer-Stepper mit den fortschrittlichen Funktionen und Technologien, die notwendig sind, um leistungsfähige integrierte Schaltungskomponenten effizient zu produzieren. Die Ausrüstung ermöglicht es Benutzern, präzise Submikron-Level-Feature-Größen und genaue Overlay-Potenzial von +/- 0,5 Mikrometer zu erreichen. CANON FPA2000-I1 verwendet einen Schrittmechanismus mit einem zweisprungasymmetrischen Cross-Vektor-Ausrichtungssystem, das Zwei-Mikron-Merkmale erzeugen kann. Dieses Gerät ist für maximale Flexibilität und Leistung ausgelegt, sodass das Gerät die Einstellungen automatisch an den Prozessbedarf anpassen kann. Die Maschine umfasst eine leistungsstarke Suite von Bildverarbeitungswerkzeugen und fortschrittlichen Bildgebungstechnologien. FPA-2000I1 enthält eine hochauflösende Monochromkamera und eine thermische Verdampferprüfstufe, um die Überlagerungsausrichtleistung genau zu bestimmen. Eine Vielzahl zusätzlicher Komponenten, darunter ein High-Speed Interference Analysis Tool (HISA), stehen ebenfalls zur Verfügung, um die Prozessleistung weiter zu verbessern. Der Wafer Stepper verfügt auch über einen Low-Power-Modus, der den Energieverbrauch während des Betriebs reduziert und eine robuste Plattform bietet, um Serviceanrufe zu minimieren. Das Asset wurde mit integrierten Wartungsfunktionen entwickelt, mit denen Benutzer fehlerhafte Komponenten problemlos diagnostizieren und reparieren können. Für Prozesse, die außergewöhnliche Präzision erfordern, ist CANON FPA-2000I1 mit einem fortschrittlichen Bildverstärkermodell ausgestattet. Diese Ausrüstung ermöglicht es Benutzern, in Bruchteilen von Nanometern gemessene Merkmalsgrößen genau zu erreichen. Durch den Einsatz einer Direct-Write-Technologie ist das System in der Lage, Muster bei Auflösungen, die normalerweise mit der Elektronenstrahllithographie verbunden sind, genau zu reproduzieren. FPA2000-I1 basiert auf CANON Flexible Architecture, die es Anwendern ermöglicht, das Gerät einfach an die spezifischen Anforderungen ihrer Produktionsprozesse anzupassen. Eingebaute Gegenmaßnahmen, wie eine Hochleistungsbildstabilisierenmaschine, stellen sicher, dass Benutzer Hogenauigkeitsbestandteile mit der umfassenden Wiederholbarkeit zuverlässig erzeugen können, und dass optische Aussetzung genau angepasst werden kann. FPA 2000 I 1 ist ein nützliches Werkzeug für Anwender, die überlegene optische Leistung für Geräte mit komplexen Musteranforderungen benötigen. Das Tool verfügt über eine robuste Leistung und ist in der Lage, fortschrittliche Funktionen zu produzieren, die für Hochleistungs-integrierte Schaltungen erforderlich sind.
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