Gebraucht CANON FPA 2000 i1 #9313447 zu verkaufen

CANON FPA 2000 i1 ist ein Waferstepper, der in der Halbleiterindustrie zur Feinstrukturierung und Herstellung von integrierten Schaltungen verwendet wird. Es ist ein 4-Strahl-Projektionsschrittmacher mit einer maximalen Belichtungsfläche von 20mmx10mm. CANON FPA2000-I1 verfügt über eingebaute Mehrwellenlängen-Beleuchtungsgeräte, die ArF (193nm) und KrF (248nm) Excimerlaser sowie einen UV-Laser verwenden. Dadurch kann der Wafer-Stepper die Belichtungszeit optimieren und eine hohe Auflösung von weniger als 1 Mikron für die Feinabbildung erreichen. Der Belichtungskopf verfügt außerdem über eine 6-Achsen-Stufe mit einer maximalen Geschwindigkeit von 10 mm/s und einer Genauigkeit von 0,1 mm, wodurch eine genaue Ausrichtung und Positionierung des Wafers für eine optimale Strukturierung gewährleistet ist. FPA-2000I1 ist mit einer modularen 1-Frame-Optik ausgestattet, die eine einfache Integration in andere Systeme wie Messtechnik oder Inspektionswerkzeuge ermöglicht. Es bietet auch eine hohe Auflösung, einen hohen Dynamikbereich und eine sehr geringe Verzerrung. Die Einheit verwendet eine variable numerische Apertur (NA) Objektiv mit einer maximalen NA von 0,4 und einstellbaren Z-Fokus, zusammen mit einem digitalen Ausrichtmodul. Diese Kombination von Funktionen ermöglicht Belichtungskorrekturen und ermöglicht eine hochgenaue Bildgebung. CANON FPA-2000 I 1 verfügt über ein eingebautes motorisiertes Mikroskop, mit dem die Muster auf Waferebene ausgewertet sowie Linienbreiten oder kritische Abmessungen der Muster gemessen werden können. Der Stepper kann auch mit einer verstärkten Sicherheitsmaschine ausgestattet werden, die das Personal vor Laserstrahlung schützen soll. FPA-2000 I 1 verfügt über eine einfach zu bedienende Schnittstelle und Unterstützung für manuelle und rezeptbasierte Operationen, die über eine Drag & Drop-Schnittstelle programmiert werden können. Das Tool bietet auch Echtzeit-Datenüberwachung, -aufzeichnung und -analyse. Insgesamt ist FPA2000-I1 ein kraftvoller und präziser Wafer-Stepper mit vielseitigen Eigenschaften und kompakter Bauweise. Es bietet eine hervorragende Prozesssteuerung und ermöglicht eine feine Strukturierung und Produktion von hochpräzisen integrierten Schaltungen.