Gebraucht CANON FPA 2000 i1 #9396114 zu verkaufen

CANON FPA 2000 i1 ist ein Wafer-Stepper, der eine i-Linie verwendet, das kostengünstigste Arbeitstier der CANON-Familie. Die FPA 2000 verfügt über eine hohe Auflösung und Genauigkeit, die präzise Verarbeitungszeiten ermöglicht. Das Modell i1 enthält eine fortschrittliche Scanner-Ausrüstung und CANON proprietäre Optik für verbesserte Edge-Definition. Mit Laserausrichtung und Hintergrundbeleuchtung bleibt seine Stabilität sehr gering, was den höchsten Erfolg ermöglicht. Es enthält auch CANON patentiertes ScanShift-System, das hilft, die Registrierung von Funktionen in Schritt- und Wiederholungsanwendungen zu verbessern. Diese Funktionen ermöglichen es dem FPA 2000, eine Vielzahl von Gerätetypen zu produzieren, darunter hochdichte verbundene Systeme, Hochspannungs-CMOS, nichtflüchtige Speicher und MEMS-Geräte. Seine Objektivlinse und seine Öffnungen sind so konfiguriert, dass sie die kleinsten Merkmale mit einer minimalen Linienbreite von 0,18 Mikrometern mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von < 5 nm abbilden. CANON FPA2000-I1 verfügt zudem über eine verbesserte Vakuumeinheit, die die Partikelverschmutzung reduziert und die Auflösung weiter erhöht. Weitere bemerkenswerte Merkmale sind die patentierte VLE Exposure Machine, ein vollständig integriertes, berührungsloses Messtechnik-Übersichtstool, eine hochwertige On-Board-Prozesssteuerung sowie ein automatisiertes Alignment-Asset. Das VLE-Modell bietet nicht nur ein hohes Maß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit, sondern es hat sich auch gezeigt, dass flächendeckende Variationen in der Lithographie, die in verschiedenen Substraten auftreten können, praktisch eliminiert werden. Die FPA 2000 enthält ein Interface-Modul mit einer Touchscreen-Schnittstelle, mit der Benutzer ihre Belichtungsrezepte einfach anpassen können. Sein erweiterter Kontrollbildschirm ermöglicht es Benutzern, auf alle für ihren Prozess relevanten Informationen zuzugreifen und eine Vielzahl von Parametern zu steuern, einschließlich; Fokusposition, Feldabflachung, Belichtungsenergie und Position der optischen Elemente. Darüber hinaus ermöglicht das Schnittstellenmodul auch, mehrere Rezepte für eine schnelle Verarbeitung zusammenzubinden. Die Präzision der FPA-2000I1 macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für fortgeschrittene Produktionsanforderungen. Es ist eine ideale Lösung für eine Reihe von Anwendungen, wie die Herstellung von High-Density und MEMS-Geräten. Mit seinen stabilen Bereichen ist es in der Lage, die anspruchsvollsten Produkte anzusprechen, und es ist auch sehr zuverlässig.