Gebraucht CANON FPA 2500 i2 #9033675 zu verkaufen

CANON FPA 2500 i2
Hersteller
CANON
Modell
FPA 2500 i2
ID: 9033675
Wafer stepper.
CANON FPA 2500 i2 Wafer Stepper ist eine Lithographieausrüstung der nächsten Generation, die für die hochpräzise Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Das System ist mit einem hochpräzisen Aktor mit einem großen steuerbaren Bereich, einer Projektionseinheit mit fortschrittlichen optischen Elementen und einer überlegenen Beleuchtungsmaschine ausgestattet. CANON FPA-2500I2 ist für fortschrittliche Lithographieverfahren konzipiert, von Submikron bis zu mehreren hundert Mikrometern breit, mit einer wiederholbaren Genauigkeit von bis zu 0,5 nm. Das Werkzeug verwendet einen Doppeldruck-Luftlagerantrieb, der den Wafer mit Luftdruck in Sub-Mikron-Schritten präzise bewegt. Aufgrund seiner großen steuerbaren Reichweite kann es verwendet werden, um eine Vielzahl von Mustern zu verarbeiten, die bis zu mehreren hundert Mikrometer breit sind und sehr wiederholbar sind. Die Anlage verfügt über ein Projektionsmodell bestehend aus einzigartigen fortschrittlichen optischen Systemen, die die Präzision der Lithographie-Angebote erhöht. Darüber hinaus enthält es eine überlegene Beleuchtungsausrüstung, die einen ringförmigen Schlitz mit einer erweiterten Phasenverschiebung und beleuchteten Maskenstruktur verwendet, die die Schärfentiefe und die Bildauflösung verbessern kann. Darüber hinaus verfügt FPA-2500 I2 Wafer Stepper über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Es verwendet ein automatisiertes optisches In-Scan-Kraftüberwachungssystem, das Oberflächenschäden oder Zerstörungen von Siliziumschichten während der Belichtungsschritte verhindert und Druckschwankungen vor Beginn der Bildgebung erkennt. Der Wafer-Stepper ist mit einer Präzisionsbeobachtungseinheit ausgestattet, die die Temperatur der Maschine kontrollieren und Defekte in Echtzeit überwachen kann. Insgesamt ist FPA-2500 I 2 ein überlegener Wafer-Stepper, der für Präzisionslithographieanwendungen wie die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es verwendet einen Doppeldruckaktor und überlegene optische Elemente, um eine detaillierte, wiederholbare Genauigkeit auf dem Nanometerniveau zu gewährleisten. Darüber hinaus gewährleisten seine Sicherheitsmerkmale, dass die Bediener eine einfache und zuverlässige Bedienung mit Qualitätsergebnissen genießen können.
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