Gebraucht CANON FPA 2500 i2 #9298425 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9298425
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Stepper, 6", parts system
Power: 18.7 kVA
Reticle size: 6", CANON STD
Wafer feeder: Type-L
PA Unit: 6", O.F Type
Chamber: TBW-CD60
Illuminator: FPA-2500 i line
A Scope: i-line, TTL
T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R)
Support mount: Servo passive damper 4
Lamp house: 1.5 kW
Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2 Wafer Stepper ist ein Präzisionsgerät, das vor allem bei der Herstellung von integrierten Schaltungen verwendet wird. Konkret handelt es sich um einen optischen Stepper, d.h. er verwendet Licht, um Muster auf eine Retikelstufe zum Bedrucken von Wafern oder anderen Substraten abzubilden. Dieser Stepper verwendet einen 200 Watt YAG Laser mit hoher Leistung, um seine Retikel bei Auflösungen von bis zu 0,5 µm zu mustern, was eine hochpräzise Abbildung seiner Quellmuster ermöglicht. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, verfügt es über ein Positioniersystem mit einer motorisierten Z-Achse, mit der das Retikel verschoben und korrekt auf den Wafer ausgerichtet wird. Die Maschine besteht aus einer Mischung aus Metallen und Verbundwerkstoffen, was ihr eine immense Festigkeit verleiht und ihre Zuverlässigkeit erhöht. Die Optik der Vorrichtung besteht aus brechenden, diffraktiven und anderen Hochleistungselementen, die eine überlegene Bildgebung ermöglichen. Zusätzlich wird die Optik mit Hilfe einer Nikon staubfreien Kammer in einer konstanten Umgebung gehalten, die Schmutz und Verunreinigungen entfernt, die Abbildungsfehler verursachen können. CANON FPA-2500I2 ist mit allen DUV/NUV Lithographiesystemen kompatibel. Mit seinen hochpräzisen Steuerungen und präzisen Abbildungsmöglichkeiten kann dieser Wafer-Stepper außergewöhnlich komplizierte Bilder erzeugen, egal ob er auf Silizium-Wafer, Chips oder ähnliche Substrate druckt. Die Maschine verfügt über zwei serielle Ports, mit denen externe Controller angeschlossen werden können, sodass Bilder verarbeitet und dann an den Stepper gesendet werden können. Darüber hinaus sind ein CD-ROM-Laufwerk und eine 2,4-Gb-Festplatte enthalten, mit der Benutzer Daten sichern und schnell laden können. Schließlich wird die Maschine für den Betrieb bis zu einer Temperatur von 35 ° C bewertet, so dass Bediener in relativ warmen Umgebungen arbeiten können, ohne die Ergebnisse zu beeinträchtigen. Abschließend ist FPA-2500 I2 Wafer Stepper eine beeindruckende Ausrüstung. Die Kombination aus zuverlässiger Hardware und anspruchsvollen optischen Elementen macht es zu einer erstklassigen Wahl für die Herstellung integrierter Schaltungen und anderer Präzisionsanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor