Gebraucht CANON FPA 2500 i2 #9298440 zu verkaufen

CANON FPA 2500 i2 ist ein High-End-Stufen- und Wiederholwafer-Stepper für die Produktion von Wafern mit hohem Durchsatz. Es ist in der Lage, Wafer von 150mm bis 450mm Durchmesser zu verarbeiten und bietet beispiellose Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz. Seine schnelle Scanzeit macht es ideal für Substrate, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden, sowie als eine ausgezeichnete Wahl für Rapid Prototyping und Hochserienproduktion. CANON FPA-2500I2 Wafer Stepper verwendet eine spezielle Fokus Ionenstrahl (FIB) Ausrüstung, um jeden Wafer genau auf die Referenzebene zu platzieren. Ein integriertes, hochauflösendes Bildgebungssystem hilft außerdem, eine präzise Platzierung jedes Wafers zu gewährleisten. Um Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu gewährleisten, ist FPA-2500 I2 mit einer Stufenantriebseinheit ausgestattet, die aus zwei Motoren besteht, mit denen der Wafer sowohl in X- als auch in Y-Achsen positioniert wird. Darüber hinaus ist die Maschine so konzipiert, dass sie Wafertemperaturen von -60 bis 160 ° C aufnimmt und Abscheidungs- und Prozesstemperaturen ermöglicht, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind. Das optische Abbildungswerkzeug besteht aus einer 10x Makroobjektivlinse und zwei flachen (telezentrischen) Objektiven, die einen einzigartigen Sensor mit einer Pixelgröße von 20 μ m unterstützen. Dies ermöglicht eine genaue Visualisierung jeder Waferkante, die zur Erkennung und Korrektur von Fehlstellungen verwendet wird. Dies gewährleistet eine hervorragende Wafermorphologie und Kantenintegrität beim Schießen und anschließender Entlastung der Wafer. Weitere Merkmale des FPA-2500 I 2 sind ein optimierter Laserverdrängungsmonitor, ein zweistufiges Kühlelement und ein integrierter Dewar-Flansch zur einfachen Befestigung von Wafer-Handlern. FPA 2500 I 2 ist auch gebaut, um maximal drei Schichten von Wafern auf einmal zu handhaben, mit einer maximalen Tragfähigkeit von etwa 500kg (7,5 Tonnen). FPA 2500 i2 ist ein Premium-Wafer-Stepper, der den Anforderungen der anspruchsvollsten Produktionsanwendungen gerecht wird. Sein hoher Durchsatz und seine Genauigkeit machen es für hohe Produktionsläufe geeignet, während sein fortschrittliches Feature-Set und sein robustes Design es ideal für die Waferproduktion unter extremen Fertigungsbedingungen machen. Mit seiner FIB-basierten Waferplatzierung, seinen hochauflösenden Bildgebungsfunktionen und seinem flexiblen Temperaturbereich ist CANON FPA-2500 I2 ein wesentliches Werkzeug für jeden Produktionsaufbau.