Gebraucht CANON FPA 2500 i2 #9314257 zu verkaufen

CANON FPA 2500 i2 ist ein Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Das Modell der nächsten Generation des CANON vorherigen Steppers, der FPA 2500i, CANON FPA-2500I2 ist ein Schritt-und-Wiederholungs-Werkzeug, das entworfen wurde, um Muster auf die Silizium-Waferoberfläche zu zeichnen. Dieses Tool kann bei Arbeiten mit 193-nm-Photomasken bis zu Sub-3-Mikron-Auflösungen erreichen. Die Maschine ist mit zwei fortschrittlichen optischen Linsen ausgestattet, der Elect La Rival Multi Dynamic Focus Aiming-Ausrüstung und dem Maximum Efficiency Catadioptric (ME2) Objektiv. Das La Rival-System wurde entwickelt, um überlegene Overlay-Genauigkeit zu bieten und ist in der Lage, seine Genauigkeit über den gesamten Belichtungsbereich zu halten, anstatt nur einen Bereich, so dass es möglich ist, eine breite Palette von Linsen für größere Netze zu verwenden. Das ME2 Objektiv ist ein leistungsstarkes Gerät, das eine Mischung aus reduzierter Aberration, verbesserter Auflösung und geringerer Empfindlichkeit gegen Vibrationen als die vorherige Linsenreihe bietet. FPA-2500 I2 ist auch mit innovativen und äußerst zuverlässigen Lithographie-Features integriert. Diese schließen eine defocus Hochleistungsentdeckungseinheit ein, die auf CANON Eigentumstechnik gestützt ist, die als „Tiefenüberwachung“, eine spezifikationsgenaue Fokusmaschine bekannt ist, die beim Oblatensteindruckverfahrenprozess hilft, und ein Hogenauigkeitsstufenpositionierungsgerät hat vorgehabt, ultragenaue Steindruckverfahrenanordnung zu sichern. CANON FPA 2500 I 2 kann auch hervorragende Gleichmäßigkeit über das gesamte Belichtungsfeld bieten. Dies wird durch die neue „i-Uniformity“ -Technologie von CANON ermöglicht, die den Prozess Schritt für Schritt überwacht, um eine sehr wiederholbare, hochpräzise Bildgebung zu ermöglichen. Darüber hinaus entfällt mit CANON FPA-2500 I2 die Notwendigkeit der Kalibrierung zwischen Losen, was es zu einem zuverlässigeren, effizienteren Werkzeug macht und höhere Erträge gewährleistet. FPA-2500 I 2 wurde auch entwickelt, um Zykluszeiten durch Sauberkeitsverbesserungen und mehrere Abscheidungsoptionen zu reduzieren. All diese Eigenschaften und Vorteile machen FPA 2500 I 2 zu einem herausragenden Werkzeug für die anspruchsvolle Aufgabe, Halbleiterbauelemente herzustellen.