Gebraucht CANON FPA 2500 i3 #293595403 zu verkaufen
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ID: 293595403
Weinlese: 1995
Stepper, 6"
Reticle size: CANON STD, 5"
Wafer feeder: L-Type
PA Unit: O.F Type, 6"
Chamber: TBW-CD73
Illuminator: FPA-2500 i-line
Console version: V 5.20 A
A Scope: i-Line, TTL
O/Z-Tilt unit: (3) Piezo stacks (L,M,R)
Support mount: (4) Servo passive dampers
Rated power: 18.7 kVA
Lamp house: 1.5 kW
Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase
1995 vintage.
CANON FPA 2500 i3 ist ein leistungsstarker, hochpräziser, kontinuierlich verbesserter und verbesserter Wafer-Stepper, der für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Ein Wafer-Stepper ist eine Art Photolithographie-Werkzeug, das verwendet wird, um ein Bild auf einen Silizium-Wafer durch selektives Belichten von Teilen des Wafers einzeln zu übertragen. CANON FPA-2500I3 ist mit einer 4kW Laserbelichtungsquelle ausgestattet und kann Wafer bis zu 300 mm Durchmesser scannen. Die Maschine kann Muster auf die Wafer mit einer Auflösung von 0,22um über und 0,25um in der Dicke anwenden, bietet hochpräzise Belichtung und unübertroffene Genauigkeit und Auflösung. Der Stepper verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die eine hochautomatisierte und effiziente Belichtung gewährleisten, einschließlich eines 14-Zoll-Vollfarben-LCD-Panels mit grafischer Benutzeroberfläche und Compound-Eye-Home-Position-Finder. Die Maschine arbeitet in einem „quadratischen“ Belichtungsstil, der eine schnelle und präzise Ausrichtung des Wafers ermöglicht. Darüber hinaus verwendet es ein automatisches Belichtungssystem, das genaue Belichtungszeiten ermöglicht und die Belichtung automatisch anpasst, um Belichtungsfehler oder Probleme mit der Bildqualität zu vermeiden. Zu den weiteren Merkmalen des FPA-2500 I3 gehören schnelle Schreibgeschwindigkeiten, ein Geräuschstrahl mit niedrigem Hintergrund, eine Niedertemperatur-Blitzlampe und ein neu konzipiertes Strahltransportsystem. Diese Funktion gewährleistet extrem kurze Schreibzeiten sowie eine vollständige Kontrolle der Belichtungszeiten. Die Maschine ist für einen schnellen und effizienten Produktionsprozess konzipiert, der eine minimale Umstellzeit erfordert und gleichzeitig mehrere Belichtungen ermöglicht. Insgesamt ist FPA-2500 I 3 ein außergewöhnlicher Wafer Stepper. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, hoher Auflösung und hochpräziser Belichtung ist es in der Lage, ausgezeichnete Ergebnisse mit hohem Durchsatz zu liefern. Die Maschine eignet sich gut für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente, und ihre einzigartigen Eigenschaften machen sie ideal für den Einsatz in der heutigen geschäftigen und hochautomatisierten Produktionsumgebung.
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