Gebraucht CANON FPA 2500 i3 #293736139 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
FPA 2500 i3
ID: 293736139
Steppers 1994-1995 vintage.
CANON FPA 2500 i3 ist ein Wafer-Stepper, der zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Dieses Tool bietet Spitzenleistung in der optischen Lithographie in einer Produktionsumgebung. CANON FPA-2500I3 bietet schnelle Musterraten, Präzisionsausrichtung und Hochleistungsprozesse. Es bietet eine überlegene Belichtungsgenauigkeit für Musterfunktionsgrößen im Bereich von 0,2 bis 0,3 Mikrometer und ist ideal für eine Vielzahl von Prozessen wie IC-Verpackung, MEMS und LED-optische Maskierung. FPA-2500 I3 hat eine breite Palette von Belichtungsfunktionen, die niedrige Mustergeschwindigkeit, hochpräzise Maskenausrichtung und gleichmäßige Strahlenbildung umfassen. Dies gewährleistet eine Mustergenauigkeit über verschiedene Schichten eines Herstellungsprozesses hinweg, so dass sich aufgrund von Maskenfehlern wenig bis keine Veränderungen ergeben. Mit seiner proprietären CANON Precision Alignment System (C-PAS) -Technologie kann CANON FPA-2500 I3 mit Millisekunden Absetzzeiten eine genaue Positionierung der Maske erreichen. Der hochgenaue Linear Motor Servo des Systems sorgt für eine stabile und präzise Waferlieferung für einen nahtlosen Betrieb. FPA-2500I3 hat eine große Belichtungsfläche von 3.725 mm2 und bietet 4-Strahl-Belichtung, um die Strukturierungszeit zu reduzieren. Es verfügt außerdem über eine hochauflösende Stepper-Steuereinheit und einen schnellen FIB-Prozessor mit 4 GB RAM, um sicherzustellen, dass die Anzahl der zu verarbeitenden Muster auf ein Minimum beschränkt werden kann. Das Schrittsteuergerät ist selbstdiagnostizierend und kann für eine schnelle Wartung eigene Fehlerdiagnosen durchführen. Darüber hinaus bietet CANON FPA-2500 I 3 niedrige Gesamtbetriebskosten und einen hohen Durchsatz für seine Belichtungsoptik. Das Tool verfügt über eine breite Palette von Belichtungsbedingungen für die Musterbelichtung und niedrige Betriebskosten. Darüber hinaus ist es mit einer Reihe von Resistmaterialien von CANON und Drittanbietern kompatibel, was es zu einem vielseitigen und effizienten Werkzeug für die fortschrittliche Herstellung von Halbleiterbauelementen macht. CANON FPA 2500 I 3 ist ein wesentliches Werkzeug für den Halbleiterproduktionsmarkt und bietet beispiellose Präzision und Genauigkeit für die Geräteherstellung und Verpackungsprozesse. Seine fortschrittlichen Musterraten, hochpräzise Ausrichtung und erstklassige Belichtungsgenauigkeit machen FPA-2500 I 3 zur besten Wahl für eine breite Palette von Geräteanwendungen.
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