Gebraucht CANON FPA 2500 i3 #293749144 zu verkaufen
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ID: 293749144
Stepper
Accuracy: 0.4 µm
Auto focus repeatability: 3 Sigma ≤ 0.12µm
Die by die levelling repeatability: 3 Sigma ≤ 10ppm
Mechanical alignment accuracy: 3 Sigma ≤ 40µm
Lens performance:
Resolution: ≤ 0.40µm
Depth of focus: ≥ 0.8µm
Image field deviation: R ≤ 0.55µm
Distortion (including mag.): ≤ 0.07µm
Illumination:
Intensity (1.5 kW input): ≥ 550 mW/cm²
Uniformity: ≤ 1.2%
Light integrator accuracy: ≤ +1.2%
Masking blade accuracy: ≤ +100µm
Alignment:
Reticle rotation accuracy: ≤ +0.02µm
Reticle rotation repeatability: R ≤ +0.03µm
AGA HeNe TV Alignment: lml+3sigma ≤ 0.10µm
AGA B2 TV Alignment: lml+3sigma ≤ 0.10µm
XY Stage:
Stepping accuracy: 3 Sigma ≤ 0.06µm
Scaling: ≤ +1.0 ppm
Orthogonality: ≤ +1.0 ppm
Throughput:
Left inline:
Levelling off:
6" (45s) ≥ 62/hr
8" (78s) ≥ 44/hr
Levelling on:
6" (45s) ≥ 57/hr
8" (78s) ≥ 40/hr
Right inline:
Levelling off:
6" (45s) ≥ 61/hr
8" (78s) ≥ 44/hr
Levelling on:
6" (45s) ≥ 56/hr
8" (78s) ≥ 40/hr
Reliability: Reticle running and wafer running.
CANON FPA 2500 i3 ist ein Waferstepper für hochpräzise Lithographie. Es verwendet eine hochauflösende Projektionsausrüstung, um Schaltungsmuster genau und schnell auf Wafer zu übertragen. Das System kann zwischen Belichtungen verschiedener Auflösungen und Winkel mit einem Minimum an Zeit und Energie wechseln. Das hochpräzise Projektionsobjektiv ist ideal für verschiedene kritische Bildgebungstechniken, einschließlich Deep-UV-Lithographie und Step-and-Repeat-Lithographie. Das Gerät kann mehrere Arten von Medien verarbeiten, z. B. 8-Zoll, 12-Zoll und große Substrate. CANON FPA-2500I3 stepper nutzt eine leistungsstarke zweiachsige Scanmaschine, um seine Projektionslinse voll auszuschöpfen. Darüber hinaus verfügt es über einen hochstabilen Rahmen und ein dediziertes Schwingungsdämpfungswerkzeug, das Vibrationen reduziert und die Genauigkeit verbessert. Die High-End-Servo- und Bewegungssteuerungen des Asset bieten eine hochpräzise und wiederholbare Leistung. Das Modell verwendet eine geschlossene elektronische Steuereinrichtung, um die höchste tatsächliche Bildgebungsgenauigkeit zu erreichen. Spezielle Ausrichtungs- und Streuentechnologie tragen ebenfalls zur Erhöhung der Präzision bei. FPA-2500 I3 verwendet eine erweiterte Roboterschnittstelle und kann sowohl Inline- als auch Schrägbaugruppen unterstützen. Es nutzt eine Kombination aus Sehausrichtungssensoren und berührungslosen Messsystemen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer vor der Belichtung richtig positioniert werden kann, wodurch eine Fehlstellung vermieden wird. Neben seinen bildgebenden Funktionen verfügt CANON FPA-2500 I 3 auch über erweiterte Sicherheits- und Umweltfunktionen. Sein fortschrittliches luftgekühltes Kreislaufdesign maximiert die Kühleffizienz, sodass Benutzer sich keine Sorgen um Überhitzung machen müssen. Und die Software des Systems kann remote über eine Netzwerkverbindung aktualisiert werden. Schließlich ist FPA-2500 I 3 sehr zuverlässig und wird mit einer Standard-Einjahresgarantie geliefert. Das Unternehmen bietet auch erweiterte Serviceverträge und ist damit eine ideale Wahl für Anwender, die über lange Zeit zuverlässige Leistung benötigen. CANON FPA 2500 I 3 ist mit seinen beeindruckenden Eigenschaften und hochpräzisen Bildgebungsfunktionen einer der besten Waferstepper auf dem Markt.
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