Gebraucht CANON FPA 2500 i3 #293809116 zu verkaufen

CANON FPA 2500 i3 Wafer Stepper ist eine leistungsstarke, hochauflösende lithographische Maschine zur Herstellung von kleinen Halbleiterbauelementen und Bauelementen am 0,25 Mikron Prozessknoten. Es verfügt über einen fortschrittlichen, großen Sichtfeld-Stepper, der i-line-Optik verwendet, um Muster auf der Substratoberfläche mit hoher Präzision und Genauigkeit zu erzeugen. CANON FPA-2500I3 verfügt über 9.500 Stepper-Pixel sowie aktive Ausrichtungsfunktionen, um NA (Numerische Apertur) bei Bedarf zu verbessern. Dies ermöglicht eine genaue, wiederholbare Musterplatzierung und Overlay von Wafer zu Wafer sowie von Los zu Los. Es ist mit einem 1: 1-Projektionsobjektiv ausgestattet, das die Erzeugung gleichmäßig verteilter Muster ohne Kunstwerk ermöglicht. Zusätzlich enthält der i3 Stepper eine 10x Stufe und ist somit ideal für große Wafer geeignet. FPA-2500 I3 Wafer Stepper wurde entwickelt, um eine Reihe von Substraten zu handhaben, von 4-Zoll bis 12-Zoll. Es ist mit einer fortschrittlichen bildgebenden Ausrüstung ausgestattet, um eine optimale Auflösung für verschiedene Belichtungen zu bieten. Zusätzlich enthält der Stepper ein Luftbürstenmodul, um vor der Belichtung ein integriertes Backen und Entgasen des Substrats zu ermöglichen. FPA-2500 I 3 ist in der Lage, mit einem Aspeed von bis zu 500 Wafern pro Stunde mit einem Durchsatz von bis zu 75 Wafern pro Stunde zu arbeiten. FPA 2500 I 3 Wafer Stepper verfügt über ein Mehrzonen-Temperaturregelsystem, das der Belichtungsumgebung Gleichmäßigkeit verleiht und eine hohe Genauigkeit und Durchsatz gewährleistet. Zusätzlich enthält der Stepper eine verzerrungsarme Anti-Vibrations-Einheit, die thermische Verzerrungen in den Substraten reduziert. Es enthält auch eine Active Clean-Maschine, um statische Elektrizität zu reduzieren, so dass Gleichmäßigkeit und Genauigkeit beim Mustern gewährleistet ist. CANON FPA-2500 I3 Wafer Stepper ist mit einem benutzerfreundlichen Bedientool ausgestattet, um eine hocheffiziente und intuitive Bedienung zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine spezialisierte Software-Suite, die die Zeit und Kosten im Zusammenhang mit dem Testen und Verifizieren neuer Substrate reduziert. Das CANON FPA-2500 I 3 Netzteil ist für einen zuverlässigen und konsistenten Betrieb optimiert und reduziert die Komplexität des Einrichtungsprozesses. Der Stepper wird mit eingebauten Korrosionsschutzmechanismen und staubdichtem Design geliefert, um die Zuverlässigkeit zu erhöhen und die Wartungskosten zu senken.