Gebraucht CANON FPA 2500 i3 #293817809 zu verkaufen

CANON FPA 2500 i3
Hersteller
CANON
Modell
FPA 2500 i3
ID: 293817809
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.6 Resolution: 400 nm Throughput (WPH): 44-200.
CANON FPA 2500 i3 Wafer Stepper ist ein großer Sprung nach vorne in der Lithographie-Technologie. Es ist für die Herstellung hochkomplexer integrierter Schaltungen in der Elektronikindustrie konzipiert. Seine Präzision und Fähigkeiten eröffnen eine Vielzahl neuer Möglichkeiten für die Entwicklung modernster ICs. CANON FPA-2500I3 hat eine Punktgröße von 5 Mikron und kann mit 25 nm Überlagerungsgenauigkeit eine Genauigkeit von rund 0,15 Mikron Linienbreite erreichen. Darüber hinaus kann es mehrere Expositionsdosen bei niedriger Dosis und hoher Auflösung verteilen, ohne dass eine lange Fokussierungszeit erforderlich ist. Damit eignet er sich für die nächste Generation von Mittel- und Hochspannungs-ICs. FPA-2500 I3 arbeitet mit einer Wellenlänge von 157 nm und eignet sich somit hervorragend für Anwendungen wie 0,18 μ m bis 65 nm. Das Werkzeug bietet eine hohe Mustergleichmäßigkeit und kann Ausrichtungsfehler von bis zu 0,30 µm kompensieren. Dadurch können hochgenaue Muster erzeugt werden, ohne dass eine hohe Anzahl von Belichtungen erforderlich ist. Der Stepper ist auch mit einem Wafer-Level-Controller ausgestattet, der in der Lage ist, eine schnelle Wafer-Ausrichtung, eine Autofokus-Einstellung und eine Wafer-Level-Datenerfassung durchzuführen. Es hat die Fähigkeit, mehrere Wafer gleichzeitig zu verwalten, und es kann mit der neuesten Software und Algorithmen aktualisiert werden, um die höchste Genauigkeit und Präzision zu ermöglichen. In Bezug auf die Produktivität ist FPA 2500 I 3 einer der schnellsten Waferstepper auf dem Markt. Es hat eine Scangeschwindigkeit von bis zu 120mm/s und kann mit seiner leichten Plattform problemlos bis zu 150 Wafer-Scans pro Stunde durchführen. Dadurch eignet es sich für Hochleistungs-Fertigungsanlagen. Der Energieverbrauch von FPA-2500I3 ist ebenfalls gering und verfügt über eine energiesparende Funktion, die den Stromverbrauch des Werkzeugs minimiert und gleichzeitig eine optimale Leistung erzielt. Dies trägt dazu bei, die Betriebskosten der Maschine langfristig zu senken. Insgesamt ist FPA 2500 i3 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der überlegene Präzision und Produktivität für die Herstellung von ICs der nächsten Generation bietet. Seine erweiterten Funktionen tragen dazu bei, die Betriebskosten zu minimieren und ein konsistentes und genaues Ergebnis zu gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor