Gebraucht CANON FPA 2500 i3 #9394903 zu verkaufen

CANON FPA 2500 i3
Hersteller
CANON
Modell
FPA 2500 i3
ID: 9394903
Wafergröße: 6"
Wafer stepper, 6".
CANON FPA 2500 i3 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper mit wählbaren Auflösungen von 0,10 μ m bis 2,00 μ m. Es wurde entwickelt, um eine hohe Mustergenauigkeit und Wiederholbarkeit zu bieten, wodurch die Produktion von hochwertigen Werkzeugen ermöglicht wird. CANON FPA-2500I3 verfügt über eine 200mm-Waferbühne mit einer Hochgeschwindigkeits-X-Y-Stufe und integriertem Wafer-Mapping-Servo, wodurch eine schnelle Ausrichtung und Positionierung des Wafers an jedem gewünschten Ort gewährleistet ist. Ein fortschrittliches, optisch flaches Spannfutter, gekoppelt mit einer Näherungsscanner-Ausrüstung, sorgt für die Genauigkeit der Ausrichtung und Positionierung. Es ist auch mit einem gummierten Waferliefersystem ausgestattet, um Wafer schnell und präzise zu beladen, zu transportieren und zu entladen. FPA-2500 I3 bietet eine maximale Beleuchtungsleistung von 350mUV und eine maximale Feldgröße von 18 x 18 mm. Es ist auch mit einer 635nm Laserstrahleinheit für überlegenen Lichtdurchsatz und verbesserte Musterleistung ausgestattet. Die Verwendung eines Hochleistungs-Laserstrahls kann eine höhere Qualität und Genauigkeit gewährleisten und gleichzeitig seine Gesamtbelichtungszeit reduzieren. In Bezug auf die optische Ausrichtung verfügt FPA 2500 i3 über Präzisionskollimatoren und Abtastlinsen sowie optische Fehlerkorrektursysteme. Es verfügt auch über eine doppelbrechende Linsenmaschine, die Aberrationen reduziert und die optische Gesamtleistung verbessert. Schließlich ist CANON FPA-2500 I3 entworfen, um die strengen tatsächlichen Leistungsanforderungen für kostengünstige und qualitativ hochwertige Düsenproduktion zu erfüllen. Es ist für die verschlussfreie, kontinuierliche, sich wiederholende Belichtung optimiert, und der Einbau von Wafer-Heiz- und Kühlsystemen sorgt für konsistentes Düsenprofil und Gleichmäßigkeit des Durchsatzes. FPA-2500I3 ist ein zuverlässiger und fortschrittlicher Wafer-Stepper, mit dem konsequent hochwertige Werkzeuge hergestellt werden können. Seine Präzisionsausrichtung und optisch flaches Spannfutter, gekoppelt mit seinem leistungsstarken Laserstrahlwerkzeug, sorgen für Genauigkeit und verbesserten Waferdurchsatz. Darüber hinaus sorgt der Zusatz von verschlussfreien kontinuierlichen Belichtungs- und Temperaturregelungssystemen für Gleichmäßigkeit und Konsistenz der Düsenprofile, was zu einer höheren Effizienz und Wirtschaftlichkeit führt.
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