Gebraucht CANON FPA 3000 EX3 #293817789 zu verkaufen

CANON FPA 3000 EX3 ist ein Waferstepper, der zur Herstellung von Mikroschaltungen innerhalb von Halbleiterwafern verwendet wird. Es ist ein Hochleistungs-Ausrichtgerät, das in der Lage ist, winzige Strukturen auf der Oberfläche eines Siliziumwafers mit einer Auflösung von unter 0,1 μ m zu erzeugen. Es ist speziell für die Halbleiterindustrie konzipiert und bietet eine genaue Ausrichtung von Bauelementmerkmalen und Fertigungsschichten. FPA 3000 EX3 verwendet eine Vielzahl von Technologien für die Ausrichtung und Musterung von Gerätefunktionen. Es verfügt über ein automatisches Kalibriersystem, das Submikron-Genauigkeit und hohe Präzision ermöglicht. Mit einer automatischen Ausrichteinheit Nano-Finder III bietet sie 50X und 200X Vorteile im Vergleich zu herkömmlichen Ausrichtsystemen. Diese Maschine gewährleistet die Ausrichtgenauigkeit durch den Einsatz eines vignettenarmen optischen Werkzeugs. CANON FPA 3000 EX3 ist mit einer hochpräzisen Stufe zum Be- und Entladen von Wafern ausgestattet. Es verfügt über sechs Achsen der Mikrowafer-Bewegungssteuerung, die Scan- und Belichtungsfunktionen in 2-Achsen entlang der XY-Ebene und ein 4-Achsen-Wafer-Ausrichtungselement für die Ausrichtung der Gerätefunktionen ermöglicht. Dieses Modell enthält auch eine High-Speed-Feature-Erkennungsausrüstung mit Laser-Erkennung und Time-of-Flight (TOF) -Technologie. Diese Technologie ermöglicht die Bestimmung der Gerätegröße und -positionsgenauigkeit bis zum Sub-Mikron-Niveau. FPA 3000 EX3 bietet maximale Technologieflexibilität und ermöglicht den Betrieb mit einer Vielzahl von Prozessen, von der Photolithographie mit i-line, ArF oder KrF-Schrittquellen bis hin zu fortschrittlichen Musterprozessen wie Binär- oder Quincunx. Dies ermöglicht eine breite Palette von Halbleiteranwendungen, wie Maskenausrichter, Belichtungssysteme und Deep-Ultraviolet (DUV) Stepper. Darüber hinaus verfügt CANON FPA 3000 EX3 über eine fortschrittliche Servosteuerungs- und Motorantriebstechnologie, die eine hochpräzise bidirektionale Bewegungssteuerung ohne Verlust der Genauigkeit oder Geschwindigkeit bietet. Das System beinhaltet eine integrierte erweiterte Servoeinheit für Waferbewegung und Echtzeit-Musterbewegung und Bilderfassung. Dies gewährleistet eine schnelle und genaue Waferposition und Mustererkennung. FPA 3000 EX3 bietet zudem viele benutzerfreundliche Funktionen, wie intuitive Bedienung und Echtzeitdiagnose über eine grafische Benutzeroberfläche. Die Maschine ermöglicht einfache Wafer-Be-/Entladevorgänge mit automatisierten Wafer-Präsenz- und Kantenerkennungsfunktionen. Es verfügt auch über vorbeugende Wartungsmodi, die einen wiederholbaren und zuverlässigen Betrieb gewährleisten. Es ist auch für die einfache Integration in andere Fertigungsprozesse konzipiert. Insgesamt ist CANON FPA 3000 EX3 ein leistungsstarkes und präzises Wafer-Stepper-Tool, das eine ausgezeichnete Ausrichtungs- und Mustergenauigkeit bei hohem Durchsatz bietet. Es ist auf Flexibilität, einfache Installation und Wartung ausgelegt und eignet sich ideal für High-End-Halbleiterherstellung und andere erweiterte Gerätefunktionen und Waferausrichtungsanwendungen.