Gebraucht CANON FPA 3000 EX3 #9077395 zu verkaufen

CANON FPA 3000 EX3 Wafer Stepper ist eine moderne Lithographie Ausrüstung entwickelt, um schnell und präzise integrierte Schaltungen auf Wafern zu produzieren. Es verwendet ein hochauflösendes optisches Abbildungssystem, das mit einer fortschrittlichen Waferstufe gekoppelt ist, um Präzision auf der Matrize zu erzeugen. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche Trockenglasröhrenbildsäule, einen großen 12-Zoll-Arbeitsbereich und eine einstellbare Stufen- und Wiederholzykluszeit. FPA 3000 EX3 unterstützt eine breite Palette von Retikeln und Wafergrößen bis 180 mm. Der Stepper nutzt eine fortschrittliche Waferstufe, die bis zu 200mm Wafer mit extrem hoher Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und Gleichmäßigkeit unterstützt. Die Stufe umfasst drei Linearantriebe und ein Drehantriebssystem für eine reibungslose, präzise Positionierung und Abtastung. Die Stufe verfügt über einstellbare Beschleunigungs- und Verzögerungsprofile, die Hochgeschwindigkeitsanwendungen ermöglichen. Die bildgebende Maschine verfügt über eine fortschrittliche automatische Kollimationstechnologie zur präzisen Fokussierung. Damit können CANON FPA 3000 EX3 hochauflösende Bilder mit extrem geringer Linienbreite-Verzerrung erzeugen. Das Auto-Kollimations-Tool bietet auch variable Fokusgeschwindigkeit und Wiederholbarkeit. Das bildgebende Element ist mit einem Hochgeschwindigkeits-Scanlaufwerk gekoppelt, das eine maximale Stufen- und Wiederholungs-Scangeschwindigkeit von bis zu 200mm/s ermöglicht. Das Modell verfügt über eine automatische Retikle-Ausrichtungsfähigkeit, die die Notwendigkeit einer manuellen Wafer-Positionierung minimiert. Die Ausrichteinrichtung ermöglicht Mehrfachbelichtungen bei verschiedenen Ausrichtversätzen, ohne den Wafer auf der Bühne neu zu positionieren. Es verfügt auch über ein On-Board-Wafer-Mapping-System, das Overlay-Messung und Korrektur ermöglicht. FPA 3000 EX3 verfügt über eine Vielzahl von intelligenten Funktionen und Funktionen, die es für Halbleiteranwendungen geeignet machen. Es bietet hohen Durchsatz, gleichzeitige Multi-Pass-Fähigkeit, hohe Produktausbeute, integrierte Fehlerinspektion und anpassbare bildgebende Lösungen. Dieses Gerät ist eine ideale Wahl für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterprodukte wie LEDs, MEMS, RF-ICs und vieles mehr. Es bietet überlegene Endproduktleistung, verbesserte Entwicklungsfunktionen und nahtlose Integration in die Fertigungsumgebung.