Gebraucht CANON FPA 3000 EX4 #9359426 zu verkaufen

CANON FPA 3000 EX4 ist ein High-End-Wafer-Stepper für Präzisionslithographie entwickelt. Es ist aufgrund seiner Sub-Mikrometer-Genauigkeit in der Lage, ultra-kleine Merkmalsgrößen auf Wafern zu produzieren. Es ist mit einem fortschrittlichen optischen 4-Kammer-Element und mehreren Ausrichtern und Messtechnik-Geräten für schnelle Ausrichtung und feinen Betrieb ausgestattet. Das Gerät ist auch mit einer Hochgeschwindigkeits-mehrachsigen Ausrüstung integriert, die einen langzeitstabilen Betrieb ermöglicht. Der Hauptkörper der Vorrichtung besteht aus langlebigen Materialien wie Aluminium und verstärktem Kunststoff für den langfristigen Einsatz und maximale Zuverlässigkeit. Sein großer LCD-Touchscreen ermöglicht es Benutzern, das Gerät mit Leichtigkeit zu überwachen und zu steuern. Dieser Wafer-Stepper ist mit einem Robotik-System ausgestattet, das die automatische Handhabung mehrerer Wafer ermöglicht. CANON FPA-3000EX4 wird auch mit einer integrierten Kühleinheit geliefert, um empfindliche optische Elemente vor beheizten Chips zu schützen. Diese Kühlmaschine umfasst eine Reihe von wärmeabsorbierenden Lüftereinheiten, thermoelektrische Rollläden und einen Satz von Heizkörpern. Es verfügt auch über ein Laser-Interferometrie-Werkzeug, das die Änderungen in den Oberflächenwinkeln der Linsen erfassen und messen kann. Dadurch wird die Genauigkeit des Lithographieverfahrens für eine bessere Ausrichtung und Bildgebung gewährleistet. Der Stepper kann mehrere Bearbeitungsschritte in einem Waferbelichtungszyklus durchführen. Dazu gehört das Auftragen von Resist, Belichten, Waferhärten und Abziehen des belichteten Musters. Es verfügt über eine Strahl-Scan-Synchronisationssteuerung und wählbare Belichtungszeiteinstellungen, um den Strukturierungsprozess weiter zu optimieren. FPA-3000 EX4 ist in der Lage, mikroskopische Komponenten für fortschrittliche regionale Strukturen wie dünne Filme, fortgeschrittene Musterung und hochauflösende Muster auf kleineren Substraten zu produzieren. Darüber hinaus bietet dieser Wafer Stepper dynamische Leistung, höheren Durchsatz, höhere Genauigkeit und Kostensenkung Vorteile für Forschung und geräteproduktionsbezogene Anwendungen.