Gebraucht CANON FPA 3000 EX6 #293817785 zu verkaufen

CANON FPA 3000 EX6 ist ein Wafer-Stepper für Halbleiterproduktion und Forschung und Entwicklung. Es ist ein fortschrittlicher Stepper mit einem 6X-Reduktionsverhältnis, der eine höhere Gleichmäßigkeit und Overlay-Leistung bietet und in der Lage ist, bis zu 300 mm Wafer zu verarbeiten. CANON FPA-3000EX6 ist die neueste Generation von CANON Feld bewährte Lithographie-Ausrüstung. Es ist ein bahnbrechender kompakter Stepper, der in der Lage ist, eine hohe Präzisionslithographie-Leistung zu erzielen. Es verfügt über eine 6X Reduktion, die zu deutlich mehr Genauigkeit und Gleichmäßigkeit übersetzt. Mit diesem 6X Untersetzungsverhältnis und höherer Überlagerungsausrichtgenauigkeit entstehen geometrische Fehler bis zu 1,5 nm. Dieses System verfügt auch über eine breite Palette von Belichtungswellenlängen für spezielle Photoresists, von 365nm bis 248nm. FPA 3000 EX6 bietet hervorragende Maskierungsgenauigkeit und Gleichmäßigkeit mit spezialisierten Maskenbildverfahren. Die spezialisierte optische Einheit und maskenlose Lithographie bieten höchste Genauigkeit und Gleichmäßigkeit. Es verfügt auch über eine erweiterte Hochgeschwindigkeits-Scan-Stufe, die sich bis zu 4 mm/s bewegen und einen Wafer in 10 Sekunden genau scannen kann. Die Maschine wurde entwickelt, um die höchste Prozesssteuerung mit einer Vielzahl integrierter Funktionen und fortschrittlicher Prozesssteuerungstools zu gewährleisten. Es verfügt über bequeme benutzerfreundliche Bedienoberflächen für eine intuitive Steuerung. Das Tool ist mit den hochmodernen, zuverlässigen und robusten Software- und Prozesssteuerungsmodulen der Quattro-Serie ausgestattet. In puncto Flexibilität können FPA-3000EX6 einfach konfiguriert und aufgerüstet werden. Es bietet eine breite Palette von OPc, Overlay, Pitch und Alignment Kontrolle durch mehrere Belichtungen, und bietet auch Flexibilität in einer Vielzahl von Arbeitsstufen, Spannfutter und Substrat Ausrichtung Optionen, Feldgrößen und Positionsgenauigkeit. Die Anlage ist so konzipiert, dass sie im Reinraum läuft, um Kontaminationen zu minimieren. Das Modell wird auf 10.000 Klasse entlüftet und kann an eine Inertgasversorgung angeschlossen werden. Die Advanced Cooling Equipment garantiert die korrekte und stabile Betriebstemperatur während des Betriebs in einer rauen Umgebung. CANON FPA 3000 EX6 bietet einwandfreie Prozessleistung, Flexibilität und benutzerfreundliche Bedienung. Es ist die perfekte Wahl für fortgeschrittene Halbleiter- und Nanotechnologiehersteller.