Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #293604649 zu verkaufen
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ID: 293604649
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
i-Line stepper, 6"
Absolute distortion NA 63 sigma 65:
DX: ≤0.050 µm
DY: ≤0.050 µm
Focus range: <0.25 µm
Mag range: <2 ppm
Resolution:
L/S: 0.35 µm
Depth of focus:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≥0.8 µm
Image field deviation:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≤0.5
Missing lots parts
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4 ist ein Wafer-Stepper, eine Art Photolithographie-Ausrüstung, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Dieser Stepper verwendet ein leistungsstarkes Syncroscan-System und eine einzigartige 4-Strahl-Lichtquelle, die eine hervorragende Bildgebungsleistung für die Massenproduktion bietet. Diese Einheit verfügt über einen hohen Durchsatz, ausgezeichnete Overlay-Genauigkeit und viele andere erweiterte Funktionen. CANON FPA-3000I4 Stepper ist mit einem 4-Strahl-Projektionsobjektiv und einem synchronen Scan-Spiegel-Scanner ausgestattet. Die Maschine wird von einer 0,5 NA-Linse angetrieben und bietet überlegene Gleichmäßigkeit, kleine Spotgrößen und hohes Kontrastverhältnis. Dies ermöglicht das Drucken kleiner Formen, die mit Einstrahlsystemen nur schwer zu erreichen sind. Es verwendet fortschrittliche Optik und Algorithmen, die schnellere Scan- und Bildgebungsgeschwindigkeiten ermöglichen. Das Werkzeug verfügt zudem über eine hochpräzise X-Y-Stufe für genaue Positionierung und Rückverfolgbarkeit. Die Bühne wird von robusten Regelalgorithmen unterstützt und sorgt für schnelle und präzise Bewegungen. Es ist in der Lage, bis zu 3000 nm/s zu bewegen. Darüber hinaus hat es eine Auflösung von 0,02 nm, die kleinere Formelementgrößen und eine höhere Präzision als je zuvor ermöglicht. FPA 3000I4 verwendet auch Mikro-Bump-Ausrichtungstechnologie, die eine reibungslose Substratplatzierung und schnelle Ausrichtungsoptimierung ermöglicht. Das Asset kann für Wafer mit einer Größe von bis zu 8 Zoll konfiguriert werden und bietet die Möglichkeit, bis zu 16 Wafer pro Stunde zu handhaben. Das Modell wird von einem Softwarepaket begleitet, das eine intuitive Benutzeroberfläche mit intuitiven Workspace-Bedienelementen bietet. Insgesamt ist FPA 3000 I 4 ein sehr fortschrittlicher Wafer-Stepper, der mit Blick auf die Massenproduktion entwickelt wurde. Es bietet hervorragende Bildgebungsleistung und -durchsatz, kombiniert mit genauer Ausrichtung und Rückverfolgbarkeit. Diese Ausrüstung ist ideal für Produktionsanlagen, die nach einer zuverlässigen und effizienten Lithographielösung suchen.
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