Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #293605760 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i4 ist ein High-End-EUV (Extreme Ultra-Violet) lithographischer Scanner, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist ein zuverlässiger und fortschrittlicher Wafer-Stepper, der für hochpräzise Lithographieverfahren entwickelt wurde. Der i4 ist zweispaltig aufgebaut und besteht aus einer zweistufigen Abtastplattform und einem hochintegrierten Wafer-Handling-System. Es verwendet auch CANON 'Roll-Scanner' Technologie. Dies bedeutet, dass die Bilddaten nach der Belichtung auf der Oberfläche des Wafers elektronisch erfasst werden, so dass sie schnell und genau übertragen und registriert werden können. CANON FPA-3000I4 Wafer Stepper verfügt über eine Laserquelle mit einer Wellenlänge von 13,5 nm, die eine höhere Präzision und eine hochgenaue Platzierung von Mustern auf dem Wafer ermöglicht. Der i4 enthält auch eine hohe Wiederholrate von bis zu 12kHz, so dass große Belichtungen in einem einzigen Schuss. Der i4 bietet hohe Durchsatzraten mit Produktivitätssteigerungen von bis zu 400 wpm (Wafer pro Minute). Dies wird durch die hohe Wiederholrate und die schnelle Datenübertragung sowie die kurze Vorbereitungszeit zwischen den Arbeitszyklen ermöglicht. Der Wafer-Stepper verfügt außerdem über ein hervorragendes Resonanzabtastsystem, das eine Verzerrung des durch Beschleunigung und Vibrationen verursachten Musters minimiert. Dies ermöglicht eine hohe Genauigkeit bei der Gerätemusterbildung. Schließlich verwendet es eine niedrige thermische Drift und ein unabhängiges stabiles Linsensystem, um Aberrationen und Verzerrungen zu verhindern. Dadurch wird eine genaue Belichtung des Wafers mit Mustern gewährleistet, wodurch die Ausbeute und Kostenleistung von Halbleiterbauelementen verbessert wird. Zusammenfassend ist FPA 3000I4 Wafer Stepper eine fortschrittliche und zuverlässige Lithographie-Maschine, die für die Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen geeignet ist.