Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #293606921 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i4
Hersteller
CANON
Modell
FPA 3000 i4
ID: 293606921
i-Line stepper.
CANON FPA 3000 i4 ist ein Ergebnis jahrzehntelanger Forschung und Fortschritte in der Wafer-Stepper-Technologie. Dieser Wafer-Stepper ist in der Lage, hohe Präzision und Genauigkeit für die Geräteherstellung zu liefern, was ihn zu einer idealen Wahl für eine Reihe von Anwendungen macht. CANON FPA-3000I4 bietet branchenführende Leistung mit einer Geschwindigkeitsspezifikation von bis zu 4800 Wafern pro Stunde (wph) und einer Auflösungsspezifikation von 0,21 µm. Es nutzt ein vollständiges Sichtfeld von bis zu 125mm und bietet eine driftlose Leistung, die eine konsistente Fokussierung und genaue Strukturierung gewährleistet. Seine Lichtquelle ist eine Kryptan-Hohlkathodenlampe, mit der Fähigkeit, genau die erforderliche Leistung für jede Belichtung zu erzeugen. FPA 3000I4 verwendet eine zweidimensionale XY-Stufe, die schnell beschleunigt und schwingungsarm ist, zusammen mit einem Waferboden, der in jeder gewünschten Einstellung platziert werden kann. Sein Ausrichtungssystem bietet auch eine hohe Präzision, mit einer Markierungserkennung, die Marken genau erkennen kann, auch wenn sie so klein wie 25nm in der Größe sind. Darüber hinaus ist FPA-3000I4 mit der hochentwickelten, benutzerfreundlichen Canirecord EX-L Software ausgestattet, die eine Vielzahl von Optionen für Prozessautomatisierung und Echtzeitüberwachung bietet. Diese intuitive, leistungsstarke Plattform ermöglicht es dem Benutzer, Prozesse bis zum Wafer-Level zu überwachen, für mehr Genauigkeit und effizientere Nutzung. FPA 3000 i4 verfügt auch über ein leistungsstarkes 200mm CCD-Bildgebungssystem, das eine Vielzahl von Inspektionen mit einer hohen Genauigkeit durchführen kann, einschließlich Fehlererkennung, hochdynamische Bereichsbildgebung, Overlay-Messungen und 3-dimensionale Messungen. Insgesamt ist CANON FPA-3000 I4 eine unglaublich fortschrittliche Technologie, die eine breite Palette von Funktionen und Fähigkeiten bietet. Seine modernsten Eigenschaften sowie seine Zuverlässigkeit und Reaktionsfähigkeit machen es zu einer idealen Wahl für eine Reihe von Präzisionsherstellungsanwendungen.
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