Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #9121236 zu verkaufen
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ID: 9121236
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
i-Line stepper, 8"
Reticle: 6"
I/F: Mark-8
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4 ist ein Präzisions-Wafer-Stepper, der mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet ist, um eine hochpräzise Produktion mit hohem Durchsatz zu ermöglichen. Dieses Gerät wurde für die Erzeugung von fortschrittlichen 3D-ICs, Mikrobearbeitung, optischen Komponenten und anderen hochpräzisen Anwendungen entwickelt. CANON FPA-3000I4 verwendet eine leistungsstarke I-Line-Quelle, die optimiert ist, um die bestmögliche Gleichmäßigkeit mit Optionen zur Auswahl von 4, 6 und 8 "-Wafern mit einer Mindestfuttergröße von 150 mm und maximal 450mm zu erzeugen. FPA 3000I4 ist mit einer patentierten Two-Step Hyperbolic Mirror System (TMMS) Technologie konzipiert, die eine hervorragende, gleichmäßige Beleuchtung über das gesamte Belichtungsfeld ermöglicht. Dies wird durch das Mikrolinsenarray verbessert, das das Belichtungsfeld auf die erforderliche Größe beschränken und gleichzeitig die Fokustiefe verbessern soll. Dies gewährleistet maximale Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Belichtungsergebnisse. FPA-3000I4 verfügt auch über eine proprietäre Optik-Technologie, die Aberration reduziert und Ausrichtungsprobleme beseitigt. Dazu gehören eine Reihe von Verbund- und symmetrischen Linsen, ein Polarisationsstrahlteiler, ein Satz von Prismen und eine Irisanordnung. Dadurch kann das Gerät die Aberration innerhalb des optischen Weges effizient aufrechterhalten und die Wellenfrontfehler des Lichts genau steuern. Dies gewährleistet eine hohe Genauigkeit der Belichtung der Wafer im Betrieb. FPA 3000 I 4 verfügt auch über die Stempel-Belichtungssteuerung, die die Belichtungsgenauigkeit optimiert, um ein qualitativ hochwertiges Bild jedes Geräts zu liefern. Das Gerät verwendet ein automatisiertes Wafer-Handling-System, das eine Ausrichtung und Fokussierung durch die Linse ermöglicht. Darüber hinaus hat das Gerät auch einen 150 mm Spannfutterdurchmesser mit einer Tragfähigkeit von 4 kg pro Spannfutter. Damit ist sichergestellt, dass das Gerät eine Vielzahl von industriellen Anwendungen bewältigen kann. CANON FPA-3000 I 4 verfügt über eine lizenzierte Software-Suite, mit der Anwender Belichtungsberechnungen, Zusammensetzung und Mustergenerierung sowie vollständige Datenanalysen verwenden können. Das Gerät verfügt zudem über einen bordeigenen Prozessmonitor, der eine einfache und aussagekräftige Belichtungsdatenanalyse ermöglicht. Darüber hinaus ist das Gerät mit Sicherheitssystemen ausgelegt, um das Risiko einer Beschädigung des Systems zu reduzieren und einen reibungslosen Betrieb zu gewährleisten. CANON FPA 3000I4 ist ein Präzisions-Wafer-Stepper. Mit seiner Reihe von Funktionen sorgt es für höchste Präzision und Durchsatz. Dazu gehören Funktionen wie eine leistungsstarke i-line-Quelle, TMMS-Technologie, Mikrolinsen-Array und proprietäre Optik-Technologie, um Aberrationen zu reduzieren. Darüber hinaus ist es mit automatisiertem Wafer-Handling, einer Software-Suite und einem integrierten Prozessmonitor für die vollständige Datenanalyse ausgestattet. Alle diese Funktionen kommen zusammen, um sicherzustellen, dass Benutzer die höchsten Qualitätsergebnisse erzielen können.
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