Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #9121239 zu verkaufen
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ID: 9121239
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
i-Line stepper, 8"
Reticle: 6"
I/F: Mark-8
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Dieses Gerät ist in der Lage, Waferausrichtungs- und Bildgebungsprozesse mit Mikromillimetergenauigkeit durchzuführen und produziert extrem präzise Wafer mit mikroskopisch kleinen Eigenschaften. Dieses Werkzeug verfügt über eine 4-Spannfutter-Retikelstufe zum automatischen Laden und Positionieren der Retikel für die Bildgebung. Der Stepper kann sowohl Standard- als auch kundenspezifische Photomasken-Muster verarbeiten. Ebenfalls enthalten ist ein Hochgeschwindigkeits-optisches System für verbesserte Bildgebungsfunktionen sowie eine motorisierte Linseneinheit zur präzisen Positionsregelung. Der Stepper unterstützt mehrere Belichtungstypen, einschließlich Gräben, Abdeckungen und unterbrochene Schüsse. Es verfügt auch über eine verstärkte Kameramaschine mit mehreren Belichtungen für erhöhte Bildauflösung und Kontrast. Darüber hinaus erleichtert der aktualisierte Wellenformgenerator und Controller die Feinabstimmung des Musters. CANON FPA-3000I4 wurde entwickelt, um die Partikelverunreinigung im Stepper effizient zu minimieren und die Auswirkungen der Umgebung während der Bildgebung zu reduzieren. Dadurch wird eine maximale Produktqualität gewährleistet. FPA 3000I4 verfügt auch über erweiterte Feature-Erkennung Software, die automatisch kompensiert Unterschiede in Wafer-Formen. Dies gewährleistet eine ideale bildgebende Ausrichtung unabhängig von der Waferkrümmung des Wafers. Der Stepper wird von einer leistungsstarken CPU angetrieben und mit hoher Datenbandbreite und einer Gigabit-Ethernet-Verbindung ausgestattet. Dies ermöglicht eine schnellere Verarbeitungszeit und eine reibungslosere Datenübertragung während der Strukturierung. Das Werkzeug kann auf 300 mm, 200 mm und 125 mm Wafern strukturiert werden. Diese Vielseitigkeit ermöglicht die Herstellung einer breiten Palette von Geräten und Komponenten mit fortschrittlichen Designs. FPA 3000 I 4 erfüllt nachweislich die strengsten Industriestandards und wurde von vielen führenden Herstellern weithin angenommen und vertraut. Es ist der Go-to-Wafer-Stepper für die fortschrittliche Halbleiterherstellung geworden, da es zuverlässige, hochpräzise Leistung für die kommenden Jahre bietet.
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