Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #9238727 zu verkaufen

CANON FPA 3000 i4 ist ein hochentwickelter, mehrstufiger Projektionsausrichter, der für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. CANON FPA-3000I4 verwendet die neueste Technologie, um präzise Auflösungen und Ausrichtung von 20-200 Nanometer-Komponenten zu schaffen. Die fortschrittliche Projektionsoptik ermöglicht unkorrigierte Auflösungen von 2 Nanometern und ermöglicht eine präzise Platzierung und Ausrichtung von herausfordernden kleinen Halbleiterbauelementen mit großer Genauigkeit. Es ist voll integriert mit einem integrierten Echtzeit-Messsystem (RTSM), das eine aktive 3D-Ausrichtung und Registrierung von Komponenten ermöglicht. FPA 3000I4 ist extrem energieeffizient. Es verfügt über eine geräuscharme, geräuscharme Kühleinheit und eine Vielzahl innovativer Beleuchtungssysteme; die vierstrahlige Beleuchtungsmaschine (IFIS) mit hocheffizienten Halogen-, Ar + Metallhalogenid- und i-line-Lichtquellen. Dies gewährleistet eine präzise und gleichmäßige Belichtung von Bauteilen über eine Vielzahl von Wafergrößen und -materialien. Der robuste und präzise Mechanismus ermöglicht eine schnelle und präzise Bewegung in alle Richtungen und liefert ein unvergleichliches Maß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Der Projektionskopf verfügt über ein hochpräzises, präzises Stufenkompensationswerkzeug, das in Kombination mit dem fortschrittlichen RTSM und der hochpräzisen Optik die präzise Platzierung von Teilen bis auf 20 Nanometer ermöglicht. FPA-3000 I 4 beherbergt auch eine vollautomatisierte Anwendungsentwicklungsumgebung, in der Anwender benutzerdefinierte Software-Routinen entwickeln können, um die Weiterentwicklung und Entwicklung zunehmend effizienter Halbleiterprozesse zu erleichtern. Schließlich bietet CANON FPA 3000I4 auch erheblichen betrieblichen Support, einschließlich der Funktionen zur Rückverfolgbarkeit von Anlagen und leicht austauschbarer Komponenten für vereinfachte Wartung und Upgrades. Die FPA sorgt zudem für einen sicheren und sicheren Betrieb und erleichtert die Schulung der Anwender und ermöglicht einen schnelleren Einstieg in komplexe Lithographiebetriebe.