Gebraucht CANON FPA 3000 i4 #9238745 zu verkaufen
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Schritt-CANON FPA 3000 i4 Oblate ist ein Halbleiterbildaufbereitungswerkzeugideal für Oblatenniveaufotolithographieanwendungen. Dieses Gerät verfügt über 4 hochempfindliche Projektionsoptiken, die für eine überlegene Auflösung und hohe Prozessgeschwindigkeiten bei minimaler Verzerrung optimiert sind. CANON FPA-3000I4 eignet sich besonders für maskenlose Lithographieanwendungen mit seiner Perfect Layer Transfer Technology, die eine genaue Arbeitsgenauigkeit auf Waferebene bei minimaler Kantendosierung gewährleistet. Um eine überlegene Bildqualität zu gewährleisten, verwendet FPA 3000I4 ein optisches 40-nm-numerisches Apertur-System, eine automatisierte Ausrichtung und Einstellung mit einem automatisierten Messwerkzeug und eine effektive chemische Beschichtung für narbenbeständigen und kratzfesten Substratschutz. Darüber hinaus beinhaltet diese Einheit fortgeschrittene Beleuchtungsmethoden, wie z.B. eine volle Gleichförmigkeitsbeleuchtung, um Schwankungen des projizierten Musters zu minimieren. Die integrierten Funktionen der Prozesssteuerung, Bewegungsstabilität und Prozessüberwachung des Werkzeugs arbeiten alle daran, Ertragsmaximierung und Kostenreduzierung zu ermöglichen, während die vorab genehmigte Prozessmaschinenkonfiguration die Variabilität der Prozesse eliminiert. Weitere in CANON FPA-3000 I4 eingebaute Performance-Booster sind die fortschrittliche Temperaturregelung für die Bühnenoberfläche und die Contour-Technologie, die die Prozessergebnisse durch die Kompensation nicht flacher Oberflächen verbessert. Die optimierten Eigenschaften und überlegenen Eigenschaften des Werkzeugs machen CANON FPA-3000 I 4 zu einem wertvollen Kapital in der Halbleiterproduktionslinie und sorgen für hohe Durchsatzraten und überlegene Lithographieergebnisse. Mit diesem Asset können Hersteller jetzt einen niedrigen Line-End-Pull-Back, eine ausgezeichnete CD-Gleichmäßigkeit, eine hochauflösende Linienmusterung und eine genaue Overlay-Ausrichtung mit minimaler Dosierungsbereichsdiskrepanz erzielen. Darüber hinaus wurde dieses Tool entwickelt, um einfache Modellerweiterungen und Upgrades zu erleichtern. Damit ist FPA-3000 I 4 eine ideale Investition für Branchen, die eine zuverlässige, kosteneffiziente und produktive Lithographielösung suchen.
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